[发明专利]一种CVD炉快速降温的装置及方法

权利要求书

1.一种CVD炉快速降温的装置，其特征在于，包括液氮罐、流量控制器、阀门、压力传感器、温度传感器和PLC控制器；液氮罐通过输入管依次连接流量控制器、阀门及CVD炉炉壳夹层的输入口，压力传感器设置在CVD炉炉壳夹层的安装口上，温度传感器设置在CVD炉炉壳夹层的顶部，压力传感器、温度传感器和流量控制器分别与PLC控制器连接。

2.如权利要求1所述的CVD炉快速降温的装置，其特征在于，所述装置还包括存储罐，CVD炉炉壳夹层的输出口通过管道与存储罐连接。

3.如权利要求1所述的CVD炉快速降温的装置，其特征在于，所述阀门选用电动球阀，电动球阀与PLC控制器连接。

4.如权利要求1所述的CVD炉快速降温的装置，其特征在于，所述CVD炉炉壳夹层的输入口位于CVD炉一侧的下端，CVD炉炉壳夹层的输出口位于CVD炉另一侧的上端。

5.一种CVD炉快速降温的方法，利用权利要求1-4任一项所述的CVD炉快速降温的装置，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

(1)设置压力传感器监测压力值为2～10MPa，设置流量控制器流量为2～20L/min；

(2)打开液氮罐和电动球阀，使液氮从CVD炉下端输入口进入到CVD炉炉壳夹层内；

(3)液氮在CVD炉炉壳夹层内由下向上进行热交换，液氮被气化后从CVD炉上端的输出口进入存储罐；

(4)降温过程中，压力传感器实时对CVD炉壳夹层内液氮压力进行监测；

(5)压力传感器将监测压力值传送到PLC控制器，PLC控制器根据压力值调节流量控制器的液氮流量，使CVD炉炉壳夹层内液氮压力维持在设定值；

(6)当温度传感器监测到CVD炉炉壳夹层内的温度达到了设定温度以下，温度传感器将监测温度值传送到PLC控制器，PLC控制器控制电动球阀关闭，结束降温作业。

6.如权利要求5所述的CVD炉快速降温的方法，其特征在于，步骤(1)中，设置流量控制器流量为10L/min。

7.如权利要求5所述的CVD炉快速降温的方法，其特征在于，步骤(1)中，设置压力传感器监测压力值为5MPa。

8.如权利要求5所述的CVD炉快速降温的方法，其特征在于，步骤(6)中，温度传感器的设定温度为不超过100℃。