[发明专利]一种多晶硅铸锭炉

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉，包括炉体(6)和设置在炉体(6)内的保温罩，其特征在于，所述保温罩内设置有坩埚(3)、底板(4)、加热器、隔热块(5)及热交换装置；所述底板(4)安装在所述热交换装置上，所述坩埚(3)放置在所述底板(4)上，所述坩埚(3)外壁上安装有坩埚护板(7)，所述底板(4)的侧壁上安装有角度调节机构，所述隔热块(5)安装在所述角度调节机构上，所述隔热块(5)末端与所述保温罩接触连接。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述角度调节机构为合页(13)，所述合页(13)包括与所述底板(4)固定连接的第一合页(14)及与所述隔热块(5)固定连接的第二合页(15)，所述第一合页(14)与第二合页(15)铰接；所述第一合页(14)上铰接有撑杆(16)，所述第二合页(15)上固定安装有卡槽(17)，所述卡槽(17)内滑动连接有滑块(18)，所述撑杆(16)所述滑块(18)铰接；所述卡槽(17)一端固定安装有微型电动推杆(19)，所述微型电动推杆(19)的活动端与所述滑块(18)固定连接。

3.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述保温罩包括保温罩体(8)、上保温板(9)和下保温板(10)，所述上保温板(9)和下保温板(10)均与所述罩体可开合连接；所述隔热块(5)与所述罩体接触连接。

4.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述加热器包括顶加热器(1)和侧加热器(2)，所述顶加热器(1)设置在所述坩埚(3)上方，所述侧加热器(2)设置在所述坩埚护板(7)的外侧，所述隔热块(5)位于所述侧加热器(2)下方。

5.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述热交换装置包括散热块(11)和炉壳水冷壁(12)，所述底板(4)与所述散热块(11)固定连接，所述炉壳水冷壁(12)与所述罩体固定连接。

6.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述坩埚(3)为石英坩埚，所述底板(4)为石墨底板，所述隔热块(5)为碳毡，所述坩埚护板(7)为石墨护板。

7.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述隔热块(5)的长度为1000mm，宽度为65mm，厚度为20mm。