[发明专利]一种发热体损伤后的修复方法及发热体结构

说明书

本发明提供了一种发热体损伤后的修复方式及发热体结构，利用机床设备将发热体底面的龟裂部分或打火损伤部位进行磨除；用水平尺确定整体水平，发热体底面为基准面，加工电极孔，电极孔加工成锥形孔，加工石墨电极，将石墨电极上端的接触面加工成与电极孔锥面相适应的锥面，将石墨电极与电极孔之间紧密配合连接。同时提供了发热体结构，发热体上设置有锥形电极孔，电极孔内设置有石墨电极一端上端，石墨电极为柱状，上端设置有与电极孔内壁相适应的斜面，石墨电极上端连接有石墨电极螺纹柱，石墨电极螺纹柱通过螺母固定于发热体上。

技术领域

本发明涉及一种发热体损伤后的修复方法，属于CVD真空炉领域。

背景技术

小炉型CVD真空炉采用石墨电阻加热方式进行升温，内部石墨发热体为一次加工成型的整体式结构，发热体整体落在炉内石墨电极上，保证发热体底面与石墨电极支撑面配合紧密，同时以螺母紧固，使发热体与石墨电极进一步紧密贴合。

发热体底面与石墨电极承接面通过螺母贴合紧密，如图1即为现有的的发热体结构，发热体上设置有柱状孔，孔内设置有石墨电极螺纹柱，石墨电极螺纹柱下端面与发热体下端面一致，石墨电极螺纹柱下侧设置有石墨电极。实际上，但是生产中由于机械的振动传播和升温降温都会造成螺母松动，一旦螺母发生松动，都会导致接触面会出现缝隙造成打火情况；发热体上电极孔立面和石墨电极螺纹柱部分非紧密配合，二者之间的间隙也会出现打火现象。打火现象造成发热体或石墨电极出现龟裂、破损，对设备给电正常运行造成极大的隐患，产生的粉尘对产品质量造成一定的影响；同时石墨发热体价格昂贵，关键部分的损伤造成报废，无法使用，造成成本极大浪费。

发明内容

本发明提供了一种发热体损伤后的修复方法，通过改变发热体与加热电极的配合面的接触方式，使它们以锥面接触配合的方式来消除振动、温度对两者及两者配合度造成的影响

本发明的技术方案如下：

一种发热体损伤后的修复方式，包括以下步骤：

(1)利用机床设备将发热体底面的龟裂部分或打火损伤部位进行磨除，选用1-10m/min的给进速度将表面粗糙度控制在Ra5-6um；

(2)发热体数量为3个，用水平尺确定3个发热体加工后的平面整体水平，上下误差±1-3mm，以确保电极孔的改造是在同一基准面上；在CVD炉中，发热体的数量通常为3个，3个发热体通常成正三角形排列；

(3)以加工后的发热体底面为基准面，加工电极孔，电极孔加工成锥形孔，锥形孔上端直径48-52mm，倾斜度为60-75°，选用1-10m/min的给进速度将锥面粗糙度控制在Ra5-6um；倾斜度指的是锥形孔侧壁与水平面的所夹锐角。

(4)加工石墨电极，将石墨电极上端的接触面加工成与电极孔锥面相适应的锥面，同样以(1-10m/min)将表面粗糙度控制在Ra5-6um；锥面上端直径49-53mm，使用测量工具检测锥度确保锥度一致；

(5)将石墨电极与电极孔之间配合连接，将石墨电机从电极孔下端向上插入电极孔内。锥形孔可以在体积不改变的情况下，有效增加接触面积，从而提高摩擦力，是的墨电极与电极孔之间的配合更加紧密牢固。

根据本发明的技术方案，优选的，步骤(2)中的上下误差为±2mm。

根据本发明的技术方案，优选的，步骤(1)、(3)、(4)中的粗糙度为Ra5um。

根据本发明的技术方案，优选的，步骤(1)、(3)、(4)中的粗糙度为Ra6um。

根据本发明的技术方案，优选的，步骤(3)的电极孔倾斜度为60°。

根据本发明的技术方案，优选的，步骤(3)的电极孔倾斜度为75°。

根据本发明的技术方案，优选的，步骤(4)中的石墨电极上端直径大于电极孔上端直径。