[发明专利]一种用于蒸镀的烧结体及其制备方法有效
| 申请号： | 202010709835.X | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN111943649B | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 陈明飞;刘永成;江长久;陈明高;徐胜利;郭梓旋;莫国仁;李跃辉 | 申请（专利权）人： | 长沙壹纳光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622;C04B35/63;C23C14/08 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 肖云 |
| 地址： | 410000 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 烧结 及其 制备 方法 | ||
1.一种用于蒸镀的烧结体，其特征在于，包含有氧化铟、掺杂元素x；所述掺杂元素x的含量以x的氧化物/(氧化铟+x的氧化物)的重量比计为0.2~5.0%；所述烧结体还包含有占所述烧结体的总重量比计为5~600 ppm的硅元素；
所述掺杂元素x选自锆和钛中的至少一种。
2.根据权利要求1所述的用于蒸镀的烧结体，其特征在于，所述硅元素的加入方式为纳米氧化硅粉末和二氧化硅溶胶中的至少一种。
3.根据权利要求2所述的用于蒸镀的烧结体，其特征在于，所述硅元素在所述烧结体中的含量为20~60 ppm。
4.一种制备如权利要求1~3任一项所述的用于蒸镀的烧结体的方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1：按配比称取所述氧化铟、掺杂元素x的氧化物，将所述氧化铟和掺杂元素x的氧化物混匀后高温处理，得到固溶有掺杂元素x的氧化铟晶相粉末；
S2：将所述硅元素加入步骤S1得到的固溶有掺杂元素x的氧化铟晶相粉末中，混匀后压制成型得到所需尺寸的坯体；
S3：将步骤S2得到的坯体进行烧结，即得所述的用于蒸镀的烧结体。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，步骤S1中，所述高温处理的温度为1300~1550℃。
6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，步骤S1中，所述高温处理的时间为2~72h。
7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，步骤S3中，所述烧结的温度为650~1450℃。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，步骤S3中，所述烧结的温度为700~1100℃。
9.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，步骤S3中，所述烧结的时间为3~72h。
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