[发明专利]用于对多个脉冲信号进行滤波的设备和方法

说明书

本发明涉及一种用于对多个脉冲信号进行滤波的滤波器单元，该滤波器单元包括多个并联连接的滤波电路。每个滤波电路包括输入和输出，其中，输入被配置为接收输入信号的幅度，并且输出被配置为激活输出信号。每个滤波电路具有指定的滤波器电平，并且还包括脉冲电平检测电路，该脉冲电平检测电路被配置为检测输入信号的脉冲电平的状态变化。状态变化包括从第一脉冲电平到第二脉冲电平的转变，并且如果脉冲电平对应于滤波电路的指定的滤波器电平，则激活所述滤波电路的输出。

技术领域

本发明涉及一种用于对多个脉冲信号进行滤波的滤波器单元，所述滤波器单元包括多个并联连接的滤波电路。每个滤波电路包括输入和输出，其中，输入被配置为接收输入信号的幅度，输出被配置为激活输出信号。每个滤波电路具有指定的滤波器电平，并且还包括脉冲电平检测电路，脉冲电平检测电路被配置为检测输入信号的脉冲电平的状态变化。状态变化包括从第一脉冲电平到第二脉冲电平的转变，并且如果脉冲电平对应于滤波电路的指定的滤波器电平，则激活所述滤波电路的输出。

此外，本发明涉及一种用于对多个脉冲信号进行滤波的方法，其中，滤波器单元包括并联连接的多个滤波电路。每个滤波电路包括输入和输出。输入被配置为接收输入信号的幅度，输出被配置为激活输出信号。每个滤波电路具有指定的滤波器电平，并且还包括脉冲电平检测电路。该方法包括以下步骤：检测输入信号的脉冲电平的状态变化；如果脉冲电平对应于滤波电路的指定的滤波器电平，则激活指定的滤波电路的输出。

此外，本发明涉及一种用于对多个脉冲信号进行滤波的滤波器单元，包含将数据存储到存储设备中的装置。一种滤波电路，包括至少一个输入和输出。至少一个输入被配置为接收输入信号的幅度，输出被配置为将信号信息输出到存储设备。滤波电路在给定的时间(t1)具有指定的滤波器值(fv1)。该滤波电路还包括至少一个脉冲电平检测电路，脉冲电平检测电路被布置为检测输入信号的主脉冲电平的状态变化。状态变化可以包括从第一脉冲电平到第二脉冲电平的转变。如果主脉冲电平对应于滤波电路的指定的滤波器值(fv1)，则该滤波电路的输出和状态都存储在存储设备的存储器m1中，滤波电路的指定的滤波器值被改变为新值(fv2)，从而在比t1迟的时间t2检测主脉冲电平的不同的状态变化。

背景技术

众所周知，射频(RF)发生器可以在各种应用中提供功率，包括在用于制造半导体的等离子工具中(例如薄膜的沉积，蚀刻和修饰)。

RF发生器还可以用于医疗设备(例如，电外科设备和诸如磁共振成像(MRI)机器的医学影像机器)、食品包装以及商业表面改性和涂层。

由于通常被限制在专用等离子体处理室内的离子体成分(离子，电子，中性原子和反应性物种)的复杂性，一种特别苛刻的应用是为产生和控制等离子体处理步骤提供功率。例如，在常规的等离子体蚀刻中，连续波RF功率(所谓的“CW RF功率”)被输送到等离子体处理室。RF通常是指20kHz至300GHz范围内的频率，然而，工业等离子体工艺中通常使用更特定的频率，特别地包括2MHz，6.78MHz，13.56MHz，27.12MHz，40.68MHz，或/和任何其他合适的频率或频率组合。

与所采用的频率无关，使用连续波RF功率进行等离子体处理的一个问题是可能会发生充电损坏。输送脉冲功率而不是连续波RF功率可以防止电荷积聚，并可以减轻充电损坏影响。现有技术中已存在用于传送脉冲功率信号的系统。

但是，这些系统具有各种缺陷和缺点。一个技术问题领域是现有技术的系统没有解决在准确测量脉冲信号传递的功率方面的复杂性和困难。这可能导致关键处理步骤的重复性不准确。例如，由于这种功率发生器中存在的滤波器，所产生的脉冲的脉冲持续时间，特别是窄脉冲，受到限制。实际上，需要建立滤波器并激活滤波器，以允许对所需脉冲进行准确的功率测量。因此，滤波器的建立时间(settling time)通常对脉冲持续时间有负面影响，因为它不允许在短脉冲内进行足够准确的测量。换句话说，对于现有技术系统，必须接受比制造过程实际所需的更长的脉冲，或者通常不太准确的测量，因此必须接受功率受控的功率。