[发明专利]一种高真空度螺杆式真空泵

说明书

本发明涉及真空泵技术领域，且公开了一种高真空度螺杆式真空泵，包括真空泵本体、外壳和循环箱，外壳套接在真空泵本体的外壁上，外壳的顶面与循环箱固定连接，外壳与真空泵本体的间隙和循环箱内均填充有冷却水，通过外壳的设置，利用壳体内封装冷却水的方式对真空泵本体进行降温冷却，且不影响真空泵本体的真空度，然后通过圆筒A的设置，利用冷却水吸热后产生的膨胀作为动力，推动冷却水在外壳内流动且与循环箱内的冷却水进行循环更换，从而保持外壳内冷却水的温度始终低于真空泵本体的温度，从而保证冷却水的换热功能来提升对真空泵本体的降温效果，且该循环效果不需要额外设置循环泵和控制电路，使得泵体的安装环境受限度减小。

技术领域

本发明涉及真空泵技术领域，具体为一种高真空度螺杆式真空泵。

背景技术

螺杆真空泵是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，等螺距螺杆泵由于无内压缩过程，排气温度非常高，如冷却效果不好，会造成转子和机壳变形，影响抽气效果，冷却机壳是必不可少的一个环节。

现有专利号CN104329257A提出了一种螺杆真空泵的螺杆转子冷却装置，通过在螺杆转子的螺旋齿内部形成冷却液通道，确保螺杆转子的冷却效果更好，但是真空泵为了保证高真空度，会将整个泵体完全密封，上述装置设置的冷却液通道在泵体内部延伸出来端口与冷却液箱连通，如果该冷却液通道出现细微裂缝或变形等问题，导致泵体丧失密封性而失去真空效果，会直接影响真空泵甚至周围设备及环境，导致了真空泵的使用风险提高。

现有专利号CN105386972A提出了一种具有动密封结构的螺杆真空泵，通过利用冷却套管在轴和转子之间形成绝热层，阻挡温度向排气端轴封的传递，但是其仅保证隔热功能，而未保证泵体散热功能的处理方式，使得泵体内会不断积蓄的热量而难以散发，这些热量会直接影响螺杆，从而影响泵体内真空形成等功能，对需求高真空度的真空泵不利于使用。

现有市面上的真空泵处理方式，多在真空泵壳体内通入冷却水，然后利用循环泵和控制机构来循环冷却水进行降温，但是其增设的循环泵和控制机构等直接大幅增加了真空泵安装环境中的电力、空间及检修等的要求，且提高了真空泵的维修成本。

因此亟需一种高真空度螺杆式真空泵来解决上述问题。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种高真空度螺杆式真空泵来解决上述问题。

(二)技术方案