[发明专利]电磁屏蔽膜在审
申请号: | 202010710051.9 | 申请日: | 2020-07-22 |
公开(公告)号: | CN113973480A | 公开(公告)日: | 2022-01-25 |
发明(设计)人: | 刘开煌;付松;虞成城 | 申请(专利权)人: | 深圳市信维通信股份有限公司 |
主分类号: | H05K9/00 | 分类号: | H05K9/00 |
代理公司: | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人: | 汪黎 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电磁 屏蔽 | ||
1.一种电磁屏蔽膜,其特征在于,包括依次层叠设置的基体、过渡层、良导体层和保护层;所述过渡层的材质为过渡金属、过渡金属合金和过渡金属氧化物中的至少一种;所述良导体层的材质为金属。
2.根据权利要求1所述的电磁屏蔽膜,其特征在于,所述基体为PET薄膜、PEN薄膜或PI薄膜。
3.根据权利要求1所述的电磁屏蔽膜,其特征在于,所述过渡层包括第一过渡层和/或第二过渡层,所述第一过渡层层叠设置在所述基体和第二过渡层之间;所述第一过渡层的材质为NixCry合金或TiOz,x+y=100,y≥15,1.5≤z≤2;所述第二过渡层的材质为Ti。
4.根据权利要求3所述的电磁屏蔽膜,其特征在于,所述第一过渡层的厚度为2~100nm;所述第二过渡层的厚度为2~100nm。
5.根据权利要求1所述的电磁屏蔽膜,其特征在于,所述良导体层的材质为银或铜;所述良导体层的电阻率小于或等于1.5*10-6Ω·m。
6.根据权利要求5所述的电磁屏蔽膜,其特征在于,所述良导体层的厚度为5~100nm。
7.根据权利要求1所述的电磁屏蔽膜,其特征在于,所述保护层包括第一保护层,所述第一保护层的材质为TiOz,1.8≤z<2;所述第一保护层的电阻率小于或等于1.5*10-2Ω·m。
8.根据权利要求7所述的电磁屏蔽膜,其特征在于,所述第一保护层的厚度为10~200nm。
9.根据权利要求7所述的电磁屏蔽膜,其特征在于,所述保护层还包括第二保护层,所述第二保护层层叠设置在所述良导体层和第一保护层之间;所述第二保护层的材质为Ti或NixCry合金,x+y=100,y≥15。
10.根据权利要求9所述的电磁屏蔽膜,其特征在于,所述第二保护层的厚度为5~100nm。
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