[发明专利]一种微波屏蔽管及磁场增强平板PECVD设备

权利要求书

1.一种微波屏蔽管及磁场增强平板式PECVD设备，其特征在于：包括壳体(9)、沿送料方向设置在所述壳体(9)内部的至少两个等离子体发生装置，所述等离子体发生装置下方设置有基片台(7)，所述等离子体发生装置内部设置有同轴圆波导，所述等离子体发生装置顶部设置有上进气管(2)，所述等离子体发生装置底部两侧设置有下进气管(6)；所述壳体(9)底部连通有真空机组(10)；

所述同轴圆波导包括同轴设置的石英玻璃管(3)、铜天线(4)、微波屏蔽管(5)，所述石英玻璃管(3)在所述铜天线(4)外侧，所述微波屏蔽管(5)设置在所述石英玻璃管(3)、铜天线(4)之间，所述微波屏蔽管(5)侧壁上下两端设有开口(501)；所述开口(501)为棱形，所述开口(501)棱形的小端设置在所述微波屏蔽管(5)两端，所述开口(501)棱形的中部大端设置在所述微波屏蔽管(5)的中间。

2.根据权利要求1所述的一种微波屏蔽管及磁场增强平板式PECVD设备，其特征在于：所述等离子体发生装置包括屏蔽罩(11)和设置在所述屏蔽罩(11)上表面的条形磁铁(1)，所述屏蔽罩(11)的外侧壁上设置有所述条形磁铁(1)，所述上进气管(2)设置在所述屏蔽罩(11)顶部，所述下进气管(6)设置在所述屏蔽罩(11)底部两侧；所述屏蔽罩(11)的横截面为等腰梯形。

3.根据权利要求2所述的一种微波屏蔽管及磁场增强平板式PECVD设备，其特征在于：所述壳体(9)、屏蔽罩(11)为无磁或弱磁的不锈钢材料，所述不锈钢材料为不锈钢304、321、316、310中的任意一种。

4.根据权利要求2所述的一种微波屏蔽管及磁场增强平板式PECVD设备，其特征在于：所述条形磁铁(1)为合金永磁材料或者铁氧体永磁材料。

5.根据权利要求1所述的一种微波屏蔽管及磁场增强平板式PECVD设备，其特征在于：所述铜天线(4)、微波屏蔽管(5)材料为紫铜，所述铜天线(4)为实心圆柱，半径范围为3～5mm，所述铜天线(4)长度大于所述壳体(9)宽度，所述铜天线(4)两端连接有微波源。

6.根据权利要求1所述的一种微波屏蔽管及磁场增强平板式PECVD设备，其特征在于：所述微波屏蔽管(5)内径范围为7～12mm，所述微波屏蔽管(5)外径范围为9～14mm，所述开口(501)为棱形，所述开口(501)棱形的小端设置在所述微波屏蔽管(5)两端，所述开口(501)棱形的中部大端设置在所述微波屏蔽管(5)的中间。

7.根据权利要求1所述的一种微波屏蔽管及磁场增强平板式PECVD设备，其特征在于：所述石英玻璃管(3)介电常数在3.5～4.7之间，所述石英玻璃管(3)内径范围为10～15mm，所述石英玻璃管(3)外径范围为12～17mm，所述石英玻璃管(3)与大气连通。

8.根据权利要求1所述的一种微波屏蔽管及磁场增强平板式PECVD设备，其特征在于：所述基片台(7)下方设置有加热板(8)。