[发明专利]曲面样品顶点定位方法、装置和椭偏仪

权利要求书

1.一种曲面样品顶点定位方法，其特征在于，包括：

获取清晰的样品图像；

获取所述清晰的样品图像的中心坐标，将所述中心坐标与预设坐标进行比对；

根据比对结果调节基台的位置使所述中心坐标和所述预设坐标重合；

将所述中心坐标和所述预设坐标重合点确定为基准点，以所述基准点建立三维坐标系；

在所述三维坐标系内以第一步长确定多个采集点；

在预设波长范围内，采集每个所述采集点处的光强值；

将数值最大的所述光强值对应的采集点确定为所述曲面样品顶点。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取清晰的样品图像，包括：

采集样品图像；

分析所述样品图像的清晰度，基于所述清晰度改变样品在竖直方向上的高度以获取所述清晰的样品图像。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述分析所述样品图像的清晰度，包括：

所述清晰度由所述样品图像的横向梯度值和纵向梯度值来表征，所述横向梯度值越大和/或所述纵向梯度值越大，说明所述样品图像越清晰；

所述横向梯度值采用下式计算：

所述纵向梯度值采用下式计算：

其中，m为计算区域的宽度，n为计算区域的高度，g为像素值，(x,y)为像素点坐标，D(f)_纵为纵向梯度值，D(f)_横为横向梯度值。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取所述清晰的样品图像的中心坐标，包括：

对所述清晰的样品图像进行二值化处理得到所述清晰的样品图像的二值化图像；

以所述二值化图像上预设位置为坐标原点建立二维坐标系；

沿所述二维坐标系x轴方向，

以第二步长遍历所述二值化图像上的每一行以获取所述二值化图像上每一行的所有第一像素值来形成每一行的x坐标值集合，当某个第一像素值为0时，将该第一像素值所对应的x轴坐标加入所述每一行的x坐标值集合；

去掉所述x坐标值集合中的最大值和最小值，计算其余值的平均值，将该平均值确定为每一行的x轴坐标值；

遍历完成后将所得到的多个所述x轴坐标值中的最大值和最小值去掉，并计算其余的所述x轴坐标值的第一平均值；

将所述第一平均值确定为所述中心坐标的横坐标；

沿所述二维坐标系y轴方向，

以第二步长遍历所述二值化图像上的每一列以获取所述二值化图像上每一列的所有第二像素值来形成每一列的y坐标值集合，当某个所述第二像素值为0时，将该第二像素值所对应的y轴坐标加入所述每一列的y坐标值集合；

去掉所述y坐标值集合中的最大值和最小值，计算其余值得平均值，将该平均值确定为每一列的y轴坐标值；

遍历完成后将所得到的多个所述y轴坐标值中的最大值和最小值去掉，并计算其余的所述y轴坐标值的第二平均值；

将所述第二平均值确定为所述中心坐标的纵坐标。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据比对结果调节所述基台的位置使所述中心坐标和所述预设坐标重合，包括：

在同一坐标系下，

若所述中心坐标的横坐标小于所述预设坐标的横坐标，则调节所述样品沿x轴正向运动使得所述中心坐标的横坐标等于所述预设坐标的横坐标；

若所述中心坐标的横坐标大于所述预设坐标的横坐标，则调节所述样品沿x轴负向运动使得所述中心坐标的横坐标等于所述预设坐标的横坐标；

若所述中心坐标的纵坐标大于所述预设坐标的纵坐标，则调节所述样品沿y轴负向运动使得所述中心坐标的纵坐标等于所述预设坐标的纵坐标；

若所述中心坐标的纵坐标小于所述预设坐标的纵坐标，则调节所述样品沿y轴正向运动使得所述中心坐标的纵坐标等于所述预设坐标的纵坐标。