[发明专利]一种应用于X射线衍射测角仪中的五维多功能测量装置在审
申请号: | 202010716135.3 | 申请日: | 2020-07-23 |
公开(公告)号: | CN111829592A | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 张所峰;刘川;胡婷婷;王军龙 | 申请(专利权)人: | 丹东通达科技有限公司 |
主分类号: | G01D21/02 | 分类号: | G01D21/02 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 代芳 |
地址: | 118000 辽宁省丹东市振兴区临港产业园区仪*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 应用于 射线 衍射 测角仪 中的 多功能 测量 装置 | ||
1.一种应用于X射线衍射测角仪中的五维多功能测量装置,其特征在于:包括尤拉环构件、Φ转角机构、X向平移机构、Y向平移机构和Z向升降机构,所述Z向升降机构通过连接杆安装于所述Y向平移机构中,Z向升降电机驱动连接杆使Z向升降机构中的样品旋转盘做Z向上下运动;所述Y向平移机构通过丝杠驱动结构安装于所述X向平移机构上,且Y向平移机构可相对于X向平移机构做Y向平移运动;X向平移机构通过丝杠驱动结构安装于Φ转角机构上,且X向平移机构可相对于Φ转角机构做X向平移运动;所述Φ转角机构在蜗轮蜗杆的带动下可绕自身中心做旋转运动,所述Φ转角机构底部装有齿轮,齿轮与所述尤拉环构件的弧形齿条相啮合,通过电机带动齿轮转动,实现所述Φ转角机构绕尤拉环构件中心做轴向运动,由此完成五维运动。
2.根据权利要求1所述的应用于X射线衍射测角仪中的五维多功能测量装置,其特征在于:所述尤拉环构件包括连接盘和弧形齿条;所述尤拉环构件通过连接盘固定在测角仪装置上,所述尤拉环构件的轨道上端设置有所述弧形齿条。
3.根据权利要求1所述的应用于X射线衍射测角仪中的五维多功能测量装置,其特征在于:所述Φ转角机构包括电机、底座、支撑盘、压盘、蜗轮、转盘、蜗杆、滚道轴承和调节座;所述蜗轮安装于所述支撑盘上,所述支撑盘与滚道轴承安装于底座中,压盘安装于所述支撑盘上,将滚道轴承压于底座与支撑盘和压盘形成的空腔内,转盘安装于所述底座上,电机安装于所述底座上,蜗杆安装于所述调节座中。
4.根据权利要求3所述的应用于X射线衍射测角仪中的五维多功能测量装置,其特征在于:电机的输出轴通过联轴套与所述底座上的轴传动连接,齿轮传动安装于所述联轴套上;所述Φ转角机构还包括旋转调节座、旋转轴、调节弹簧;旋转轴与旋转调节座安装于所述底座中,调节弹簧安装于所述旋转调节座与底座中,当存在加工误差和磨损造成的间隙时调节弹簧带动旋转调节座通过旋转轴进行旋转,旋转调节座再带动调节座上的蜗杆进行调节。
5.根据权利要求3所述的应用于X射线衍射测角仪中的五维多功能测量装置,其特征在于:所述底座两侧均安装有用于绕尤拉环中心轴做导向运动的轴承滚轮合件,所述轴承滚轮合件包括滚轮支架、两个侧面轴承和两个上端轴承,两个侧面轴承对称安装于所述滚轮支架的一侧面,两个上端轴承对称安装于所述滚轮支架的上端面,四个轴承通过轴连接,通过卡簧将轴承固定在轴一侧,轴的另一端穿过滚轮支架后通过螺母与碟簧连接进行夹紧,且轴的侧面通过顶丝锁紧在滚轮支架上;上端轴承连接于底座底部并位于弧形齿条轨道的外侧,侧面轴承位于弧形齿条轨道的下侧。
6.根据权利要求1所述的应用于X射线衍射测角仪中的五维多功能测量装置,其特征在于:所述X向平移机构包括底座连接盘、底部框架、丝杠、连接板、滑块、X向平移电机;安装于底部框架底端的所述底座连接盘用于将X向平移机构固定在所述Φ转角机构的转盘上,丝杠传动副设置于所述底部框架上,丝杠沿所述底部框架的X向贯穿设置,所述X向平移电机安装于所述丝杠上,所述连接板安装于滑块与X向平移电机上;X向平移电机用于驱动所述丝杠转动。
7.根据权利要求6所述的应用于X射线衍射测角仪中的五维多功能测量装置,其特征在于:所述丝杠伸出所述底部框架的两端安装有瓦座,手动调节座安装于所述丝杠的一端并可用于手动调节丝杠转动;所述底部框架上位于所述丝杠的两侧对称设置有导轨,所述连接板的底部设置有与所述导轨滑动配合的滑块。
8.根据权利要求1所述的应用于X射线衍射测角仪中的五维多功能测量装置,其特征在于:所述Y向平移机构包括底部框架、连接板、滑块、Y向平移电机和丝杠;底部框架的底面固定在所述X向平移机构的连接板上,丝杠传动副设置于所述底部框架上,丝杠沿所述底部框架的Y向贯穿设置,所述Y向平移电机安装于所述丝杠上,所述连接板安装于滑块与Y向平移电机上,Y向平移电机用于驱动所述丝杠转动。
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