[发明专利]一种半导体激光器叠阵的光学处理方法在审

专利信息
申请号: 202010716552.8 申请日: 2020-07-23
公开(公告)号: CN113972555A 公开(公告)日: 2022-01-25
发明(设计)人: 付传尚;孙素娟;开北超;郑兆河;徐现刚 申请(专利权)人: 山东华光光电子股份有限公司
主分类号: H01S5/02253 分类号: H01S5/02253;H01S5/02326;H01S5/02355;H01S5/026
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人: 赵龙群
地址: 250101 山东省济*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体激光器 光学 处理 方法
【权利要求书】:

1.一种半导体激光器叠阵的光学处理方法,其特征在于,该方法用于对激光器叠阵中每一个巴条的快轴发散角进行准直,获得均匀输出的平行光,所述激光器叠阵包括平行排列的N个巴条,该光学处理方法包括步骤:

(1)在封装好的N个巴条的两侧分别设置一根垫条,用于固定D型柱透镜;

(2)挡住N-1个巴条的发光面,暴露一个巴条的发光面,在暴露的巴条发光面上方放置D型柱透镜,使得D型柱透镜的入射光平面对准巴条的出光面,然后继续调整D型柱透镜的位置,使得D型柱透镜焦点所在的直线与巴条发光点所在的直线重合,然后固定D型柱透镜;

(3)挡住N-2个未加透镜的巴条发光面和步骤(2)中已调整好D型柱透镜对应的巴条发光面,暴露一个巴条的发光面,在暴露的巴条的发光面上方放置D型柱透镜,使得D型柱透镜入射光平面对准巴条的出光面,然后继续调整D型柱透镜的位置,使得D型柱透镜焦点所在的直线与巴条发光点所在的直线重合,然后固定D型柱透镜;

(4)按照步骤(3),以此类推,逐个调整巴条上方D型柱透镜的位置,使得D型柱透镜的出射光为平行光,固定D型柱透镜,完成N个巴条上方D型柱透镜的固定。

2.根据权利要求1所述的一种半导体激光器叠阵的光学处理方法,其特征在于,相邻巴条之间的距离S大于3倍的D型柱透镜的中心线到光出射面的距离。

3.根据权利要求1所述的一种半导体激光器叠阵的光学处理方法,其特征在于,步骤(2)中,采用六维调节架夹持D型柱透镜来调节D型柱透镜的位置,使得D型柱透镜焦点所在的直线与巴条发光点所在的直线重合。

4.根据权利要求1所述的一种半导体激光器叠阵的光学处理方法,其特征在于,步骤(2)中,使用紫外胶将D型柱透镜两端固定在两根垫条上;D型柱透镜固定后需要再次确认D型柱透镜出射的光是否为平行光,若光路发生变动,需拆除D型柱透镜重新进行调整。

5.根据权利要求1所述的一种半导体激光器叠阵的光学处理方法,其特征在于,所述激光器叠阵包括12个巴条,每个巴条的功率为100W,12个巴条依次串联形成1200W激光器叠阵。

6.根据权利要求1所述的一种半导体激光器叠阵的光学处理方法,其特征在于,步骤(1)中,两根垫条平行设置在N个巴条的两侧,且垫条到每个巴条的距离相同。

7.根据权利要求1所述的一种半导体激光器叠阵的光学处理方法,其特征在于,所述D型柱透镜的表面镀有光学增透膜。

8.根据权利要求1所述的一种半导体激光器叠阵的光学处理方法,其特征在于,相邻巴条之间采用Cu10W90作为封装材料进行封装的。

9.根据权利要求1-8任一项所述的一种半导体激光器叠阵的光学处理方法,其特征在于,巴条采用AuSn硬焊料封装。

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