[发明专利]一种高导热微波TR组件封装外壳及其加工方法在审
申请号: | 202010717391.4 | 申请日: | 2020-07-23 |
公开(公告)号: | CN111933585A | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
发明(设计)人: | 方军;魏四飞;张龙;钟永辉 | 申请(专利权)人: | 合肥圣达电子科技实业有限公司 |
主分类号: | H01L23/06 | 分类号: | H01L23/06;H01L23/10;H01L23/367;H01L23/373;H01L21/48 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人: | 娄岳 |
地址: | 230088 安徽省合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 导热 微波 tr 组件 封装 外壳 及其 加工 方法 | ||
1.一种高导热微波TR组件封装外壳,包括底盘(1)、过渡环(2)以及盖板(3),其特征在于,所述底盘和盖板采用Mu/Cu材料,所述过渡环采用Kover材料,所述底盘开设有若干个用于钎焊信号端子的通孔(4),所述通孔由内到外采用直径变大的三级台阶空腔结构,包括用于限位的一级台阶(41)、三级台阶(43)以及用于控制信号端子垂直度的二级台阶(42)。
2.根据权利要求1所述的一种高导热微波TR组件封装外壳,其特征在于,所述底盘的厚度为5-15mm,一级台阶的厚度约为底盘厚度的10%,二级台阶的厚度约为底盘厚度的60%,三级台阶的厚度约为底盘厚度的30%。
3.一种基于上述权利要求1-2所述高导热微波TR组件封装外壳的加工方法,其特征在于,包括以下步骤:
通过机械加工制作底盘、过渡环以及盖板,并在底盘上开设通孔;
对底盘进行净化和镀镍处理;
通过磨具和高温烧结工艺将底盘和过渡环进行钎焊装配;
对底盘表面进行喷砂和镀金处理;
通过磨具和高温烧结工艺将所需信号端子固定焊接在通孔内;
通过平行缝焊工艺进行封盖。
4.根据权利要求3所述的一种高导热微波TR组件封装外壳的加工方法,其特征在于,所述底盘净化和镀镍具体包括以下步骤:
采用60℃的德新除油液浸泡2小时,然后通过超声波清洗15分钟;
通过电镀镍工艺在底盘表面镀镍2-6μm。
5.根据权利要求3所述的一种高导热微波TR组件封装外壳的加工方法,其特征在于,喷砂采用300目的二氧化硅砂粒,镀金的纯度为99.99%以上,厚度为1-5μm。
6.根据权利要求3所述的一种高导热微波TR组件封装外壳的加工方法,其特征在于,所述底盘和过渡环焊接采用银铜焊料,所述信号端子的焊接采用金基焊料。
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