[发明专利]电磁阀及质量流量控制器

说明书

本发明提供一种电磁阀及质量流量控制器，电磁阀包括电磁件、阀体组件、阀芯组件、堵头组件、阀口部件，其中，阀芯组件、堵头组件、阀口部件依次叠置在阀体组件的容置腔中，阀芯组件可移动地设置在容置腔中，堵头组件包括磁座、堵头，磁座固定设置在容置腔中，堵头可移动地设置在磁座的安装孔中，阀芯组件与堵头点接触，阀口部件朝向堵头组件的端面上设置有阀口，堵头与阀口相对设置；电磁件用于磁化阀芯组件及磁座，使磁座吸引阀芯组件移动，进而带动堵头移动，调节堵头与阀口之间的距离。本发明提供的电磁阀及质量流量控制器能够提高工作可靠性，并降低装配难度，从而提高一次装配合格率，降低零部件加工难度，降低加工成本，减小自身体积。

技术领域

本发明涉及流体控制装置技术领域，具体地，涉及一种电磁阀及质量流量控制器。

背景技术

流体控制装置在半导体微电子工业、光伏行业、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域中有着广泛应用。其中，电磁式的流体控制装置能够对压力小，流量大的流体进行控制，并且具有密封性较好以及外形尺寸较小的优势。

如图1所示，现有的电磁调节阀包括阀罩10、线圈11、阀体12、阀芯13、垫圈14、磁座15和阀口件16，其中，线圈11和阀体12设置在阀罩10内，阀体12中具有中空结构的内腔，阀芯13、垫圈14、磁座15和阀口件16设置在内腔中，磁座15的下方设置阀口件16，阀口件16中设有两个通孔18，磁座15的上方依次设置垫圈14和阀芯13，阀芯13上设置有簧片17，簧片17搭接在垫圈14上，磁座15中央设有喇叭形通孔19，阀芯13的下端穿过磁座15位于喇叭形通孔19中，阀口件16中的两个通孔18和磁座15中的喇叭形通孔19形成流体通道。当向线圈11通电后，磁座15会产生对阀芯13的吸力，而磁座15对阀芯13的吸力会随着输入电压值的变化而变化，从而使阀芯13的下端与阀口件16的通孔18之间的距离发生变化，实现对流体流量的调整。

但是，在实际的安装过程中，由于无法保证阀芯13安装在阀体12的内腔的中央位置，当线圈11通电后，阀芯13会被倾斜的吸引，导致阀芯13和阀口件16的通孔18之间无法实现密封，最终导致电磁调节阀的的失效。而为了保证阀芯13能够尽可能的沿竖直方向运动，不仅要保证电磁调节阀中所有零件的尺寸精度足够高，还要保证装配精度足够高，而这不仅导致电磁调节阀的生产效率低，还导致一次装配合格率低，零件的报废率高等问题。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种电磁阀及质量流量控制器，其能够提高工作可靠性，并降低装配难度，从而提高一次装配合格率，降低零部件加工难度，降低加工成本，减小自身体积。

为实现本发明的目的而提供一种电磁阀，包括：电磁件、阀体组件、阀芯组件、堵头组件、阀口部件，其中，

所述阀芯组件、所述堵头组件、所述阀口部件依次叠置在所述阀体组件的容置腔中，所述阀芯组件可移动地设置在所述容置腔中，所述堵头组件包括磁座、堵头，所述磁座固定设置在所述容置腔中，所述堵头可移动地设置在所述磁座的安装孔中，所述阀芯组件与所述堵头点接触，所述阀口部件朝向所述堵头组件的端面上设置有阀口，所述堵头与所述阀口相对设置；

所述电磁件用于磁化所述阀芯组件及所述磁座，使所述磁座吸引所述阀芯组件移动，进而带动所述堵头移动，调节所述堵头与所述阀口之间的距离。

优选的，所述阀芯组件包括与所述堵头相对设置的磁动芯，所述磁动芯能够在所述电磁件的磁化下，受所述磁座吸引移动，所述磁动芯上设置有朝所述堵头凸出的接触部件，且所述接触部件朝向所述堵头的表面包括能够与所述堵头点接触的圆弧面，

或者，所述堵头上设置有朝所述磁动芯凸出的接触部件，且所述接触部件朝向所述磁动芯的表面包括能够与所述磁动芯点接触的圆弧面。

优选的，所述接触部件包括连接销和球形接触头，所述连接销一端与所述磁动芯或所述堵头连接，另一端与所述球形接触头连接。