[发明专利]一种高分辨大扫描场系统的二阶像差补偿方法

权利要求书

1.一种高分辨大扫描场系统的二阶像差补偿方法，其特征在于，在电子束检测和成像系统中，分析因偏转系统带来的二阶像差，进而利用多极静电偏转器，引入四极场以补偿电子束检测和成像系统因偏转系统带来的二阶像差；

其中，在电子束检测和成像设备中，分析因偏转系统带来的二阶像差，具体为：当电子束检测或成像系统有偏转系统的存在时，此时沿着光轴附近将场函数做级数展开分析系统电子光学特性，即能够分析因偏转系统带来的二阶像差；

利用多极静电偏转器，引入四极场以补偿电子束检测和成像系统因偏转系统带来的二阶像差，具体为：通过给多极静电偏转器的圆弧电极施加电压信号激励，让多极静电偏转器产生所需的四极场，叠加在多极静电偏转器上，控制调节加入四极场的方位角和激励强度，从而达到补偿电子束检测和成像系统因偏转系统带来的二阶像差。

2.根据权利要求1所述的一种高分辨大扫描场系统的二阶像差补偿方法，其特征在于，所述多极静电偏转器为八极静电偏转器、十二极静电偏转器或二十极静电偏转器。

3.根据权利要求2所述的一种高分辨大扫描场系统的二阶像差补偿方法，其特征在于，当多极静电偏转器采用八极静电偏转器时，将八极静电偏转器的八个圆弧电极按照四极透镜的结构分布分成四个单元，每个单元包括两个圆弧电极，对这两个圆弧电极施加同一激励信号，通过给圆弧电极施加激励信号，即得到四极透镜所需的四极场，最终利用有限元软件对四极场进行计算并导出；

对于计算的四极场有限元结果，先将导出的四极场叠加在八极静电偏转器上，放入整个电子束检测和成像系统中，使八极静电偏转器同时有二极场和四极场，计算八极静电偏转器在电子束检测和成像系统中的光学特性。

4.根据权利要求3所述的一种高分辨大扫描场系统的二阶像差补偿方法，其特征在于，分别给定静电八极偏转器两个四极场的单位激励，计算观察加入四极场在电子束成像或检测系统的光学特性，根据加入四极场对电子束成像或检测系统的变化，再调整相应的四极场激励，将计算所得的二阶像差值和没有补偿前的电子束成像或检测系统的二阶像差值比较，以达到减小或校正二阶像差的结果。