[发明专利]异形微通道板测试夹具装置

说明书

本发明提供一种异形微通道板测试夹具装置，包括底座、下电极环、绝缘环、压紧弹簧、导电环、输入电极、绝缘片、上电极环和输出电极；底座中心有开有通孔，下电极环、绝缘环、压紧弹簧、导电环依次叠加放置在通孔上；微通道板放置在绝缘片开孔里，以对微通道板的表面加载电压；输入电极和输出电极为圆形，并且在相同位置有与微通道板有效区形状相同的开孔；输入电极和输出电极分别为微通道板的输入面和输出面提供电压。下电极环和上电极环通过导线与高压电源相连；下电极环、压紧弹簧、导电环和输入电极依次接触，给微通道板输入面提供电压；上电极环和输出电极相接触，用于给微通道板输出面提供电压；输入电极和输出电极通过绝缘片绝缘。

技术领域

本发明涉及微通道板技术领域，具体而言涉及一种异形微通道板测试夹具装置。

背景技术

微通道板(Micro-channel Plate，简称MCP)是一种列阵式微通道电子倍增器件，它具有低噪声、高增益、快响应等特点，由此被广泛的用于各种含能光子、荷电粒子的探测与成像领域。微通道板由104-107数量级的微通道组成，通道直径为4～50μm，厚度为0.2～2.0mm。微通道板两端镀有金属薄膜，分别作为输入面和输出面。微通道板工作时需要在输入面和输出面施加电压。在微通道板边缘有没有微通道的实体边，用于给微通道板加电压提供良好的接触面。

由于受制造工艺和用途的影响，传统的微通道板为圆形结构。圆形微通道板可以用在像增强器、光电倍增管、质谱仪等仪器中。随着科技的发展，微通道板的用途越来越广，由此产生了不同形状的微通道板。为了检测微通道板是否合格和合理的使用微通道板，需要对微通道板的性能进行综合评估。由于传统的微通道板是圆形，测试设备也只能测试圆形微通道板，而制作一台测试设备需要几十万到数百万人民币。对测试夹具进行改进，既能测试异形微通道板，又能节约成本。

发明内容

本发明目的在于提供一种异形微通道板测试夹具装置，包括底座、下电极环、绝缘环、压紧弹簧、导电环、输入电极、绝缘片、上电极环和输出电极；

所述底座为绝缘材质底座；所述下电极环、绝缘环、压紧弹簧、上电极环、导电环、上电极环均为环形结构；

所述底座中心有开有通孔，通孔边缘设置有台阶面，所述下电极环、绝缘环、压紧弹簧、导电环依次叠加放置在通孔的台阶面上；

所述上电极环、输出电极和底座的外径相等；

所述绝缘环套在压紧弹簧的外部，然后通过导电环压紧到所述下电极环上；

所述导电环位于结缘环的上方；

所述输入电极、微通道板、绝缘片、输出电极依次压在底座的上表面；上电极环围绕在输入电极、微通道板和的外部；微通道板放置在绝缘片开孔里，以对微通道板的表面加载电压；

所述输入电极和输出电极为圆形，并且在相同位置有与微通道板有效区形状相同的开孔；所述输入电极和输出电极分别为微通道板的输入面和输出面提供电压。

进一步地，所述下电极环和上电极环通过导线与高压电源相连；下电极环、压紧弹簧、导电环和输入电极依次相接触，用于给微通道板输入面提供电压；所述上电极环和输出电极相接触，用于给微通道板输出面提供电压；输入电极和输出电极通过所述绝缘片绝缘。

进一步地，所述输入电极和输出电极为铜电极。

进一步地，所述压紧弹簧和导电环的外径小于绝缘环，并且沿轴向依次叠加放置在底座的通孔处。

进一步地，所述下电极环、绝缘环、压紧弹簧、导电环、输入电极、绝缘片的外径均小于底座的通孔的直径。