[发明专利]一种刻蚀设备约束环的制造工艺

权利要求书

1.一种刻蚀设备约束环的制造工艺，其特征在于，集精密加工，精密清洗，硬质阳极，氧化钇涂层多种先进工艺于一体的关键零部件制造工艺；

其中在零件的机械加工过程，精密加工采用精车环槽；环槽的尺寸外径直径为φ500mm圆，环槽宽度2.5±0.01mm，共有10组环槽，层层相连，形成约束环；环槽的精密加工使用刀具为名古屋刀具。

2.按照权利要求1所述一种刻蚀设备约束环的制造工艺，其特征在于，精密清洗具体要求为：

高压清洗40-60'，950-1050psi，保湿转入百级无尘室2-20'，超声波清洗，震荡15-20'，浸泡90-95'，8-12W/in2；

重复高压清洗40-60'，950-1050psi，超声波清洗，震荡15-20'，浸泡60-75'，8-12W/in2循环两次，备注：水温小于50℃。

3.按照权利要求1所述一种刻蚀设备约束环的制造工艺，其特征在于，硬质阳极工艺：

电流密度2.5A/dm2，升流20min，温度-1～1℃；

脱脂10-30'，70-75℃，水洗60-90，碱咬10-80，32-38℃；碱水洗60-90，酸洗5-20，酸水洗60-90，硬阳，水洗60-90，纯水封孔300’-360’，92-99℃，水洗60-90，CDA吹干。

4.按照权利要求1所述一种刻蚀设备约束环的制造工艺，其特征在于，氧化钇涂层喷涂工艺：

喷砂：使用20#白刚玉，喷砂压力20-100PSI，角度25°，喷嘴距离工件5-10cm，移动速度3-7cm/秒，要求Ra为200-250μin3；

氧化钇喷涂转盘转速40-64r/min，进行喷涂，保证整体在150-250um。