[发明专利]液体中转系统及其防溢控制方法

权利要求书

1.一种液体中转系统，其特征在于，所述液体为蚀刻工艺的蚀刻液，所述液体中转系统包括：

液体储存桶；

液体中转缸，所述液体中转缸的进口通过输送管连通于所述液体储存桶的出口，所述液体中转缸设置有溢流口；其中，所述输送管设置有输送泵和第一控制阀；以及

收集缸，所述收集缸通过第一溢流管连通于所述溢流口；其中，所述第一溢流管设置有第二控制阀；

所述液体中转系统还包括蚀刻线槽，所述蚀刻线槽通过第二溢流管连通于所述溢流口，所述第二溢流管设置有第三控制阀；

所述液体中转系统还包括防虹吸管，所述防虹吸管连通所述输送管和所述液体储存桶，所述防虹吸管设置有防虹吸阀。

2.如权利要求1所述的液体中转系统，其特征在于，所述液体中转系统还包括液位探头，所述液位探头插设于所述液体中转缸内；

和/或，所述液体中转缸开设有排气口，所述液体中转系统还包括排气管，所述排气管插设于所述排气口内，所述排气管设置有排气阀。

3.一种液体中转系统的防溢控制方法，应用于液体中转系统，其特征在于，所述液体中转系统包括液体储存桶、液体中转缸以及收集缸，所述液体中转缸的进口通过输送管连通于所述液体储存桶的出口，所述液体中转缸设置有溢流口，所述收集缸通过第一溢流管连通于所述溢流口，所述输送管设置有输送泵和第一控制阀，所述液体中转系统的防溢控制方法包括以下步骤：

获取所述液体中转缸的容积；

根据所述液体中转缸的容积确定目标运行时间；

当输送管内液体的流通时间达到所述目标运行时间时，控制所述输送泵和所述第一控制阀关闭；

所述液体中转系统还包括蚀刻线槽，所述蚀刻线槽通过第二溢流管连通于所述溢流口，所述第二溢流管设置有第三控制阀；所述根据所述液体中转缸的容积确定目标运行时间的步骤之后，还包括：

当输送管内液体的流通时间达到所述目标运行时间时，控制所述第三控制阀打开。

4.如权利要求3所述的液体中转系统的防溢控制方法，其特征在于，所述第一溢流管设置有第二控制阀，所述根据所述液体中转缸的容积确定目标运行时间的步骤之后，还包括：

当输送管内液体的流通时间达到所述目标运行时间时，控制所述第二控制阀打开。

5.如权利要求3所述的液体中转系统的防溢控制方法，其特征在于，所述液体中转系统还包括防虹吸管，所述防虹吸管连通所述输送管和所述液体储存桶，所述防虹吸管设置有防虹吸阀，所述当输送管内液体的流通时间达到所述目标运行时间时，控制所述第一控制阀关闭的步骤之后，还包括：

控制所述防虹吸阀打开。

6.如权利要求3至5中任一项所述的液体中转系统的防溢控制方法，其特征在于，所述液体中转缸开设有排气口，所述液体中转系统还包括排气管，所述排气管插设于所述排气口内，所述排气管设置有排气阀，所述当输送管内液体的流通时间达到所述目标运行时间时，控制所述输送泵和所述第一控制阀关闭的步骤之前，还包括：

控制所述排气阀打开。