[发明专利]一种硅蚀刻液混酸浓度的分析方法

权利要求书

1.一种硅蚀刻液混酸浓度的分析方法，其特征在于：其步骤包括：

取待测的硝酸、氢氟酸和醋酸的混酸样品，在该混酸样品中分别加入非质子性有机溶剂和抗沉淀干扰溶剂制得硅蚀刻混酸溶液，混酸样品与加入的溶剂的质量体积比为0.6-1.7g:100mL；

通过自动电位滴定仪将标定好的强碱水溶液滴入硅蚀刻混酸溶液中，至分别出现第一、第二、第三突跃部分；

根据第一、第二、第三突跃部分的中点所消耗强碱水溶液的体积来计算硅蚀刻液混酸即硝酸、氢氟酸和醋酸的浓度

式中：

C—强碱水溶液的浓度，mol/L

V₁—第一突跃部分的中点所消耗的强碱水溶液的体积，mL

V₂—第二突跃部分的中点所消耗的强碱水溶液的体积，mL

V₃—第三突跃部分的中点所消耗的强碱水溶液的体积，mL

M₁—硝酸的摩尔质量，g/mol [M(HNO₃)=63.01]

M₂—氢氟酸的摩尔质量，g/mol [M(HF)=20.01]

M₁—醋酸的摩尔质量，g/mol [M(CH₃COOH))=60.05]

m—测试所称取的硅蚀刻液混酸的质量，g；

所述非质子性有机溶剂为甲醇或乙醇；

所述抗沉淀干扰溶剂为环己醇。

2.根据权利要求1所述的硅蚀刻液混酸浓度的分析方法，其特征在于：所述强碱水溶液为氢氧化钠溶液或氢氧化钾溶液，浓度为0.9-1.1mol/L。

3.根据权利要求2所述的硅蚀刻液混酸浓度的分析方法，其特征在于：所述强碱水溶液采用标准浓度的HCl溶液标定浓度。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的硅蚀刻液混酸浓度的分析方法，其特征在于：步骤（1）中非质子性有机溶剂与抗沉淀干扰溶剂的体积比为1-8:1。

5.根据权利要求4所述的硅蚀刻液混酸浓度的分析方法，其特征在于：步骤（1）中非质子性有机溶剂与抗沉淀干扰溶剂的体积比为1-5:1。

6.根据权利要求5所述的硅蚀刻液混酸浓度的分析方法，其特征在于：步骤（1）中非质子性有机溶剂与抗沉淀干扰溶剂的体积比为1:1。

7.根据权利要求1-3中任一项所述的硅蚀刻液混酸浓度的分析方法，其特征在于：进行三次平行测定，每种酸浓度的三次偏差均在0.2%以内，则选择三次测定的中间值作为最终的测定结果。