[发明专利]激光直接成像设备

权利要求书

1.一种激光直接成像设备，其特征在于，包括：

底座(100)；

载台(200)，所述载台(200)设置在所述底座(100)上，所述载台(200)用于承载待蚀刻产品；

载台驱动装置，所述载台驱动装置连接所述载台(200)，以驱动所述载台(200)沿着Y方向运动；

支架(300)，所述支架(300)包括设置在所述载台(200)的X方向两侧的两个立柱(310)及连接两个所述立柱(310)的横梁(320)，所述横梁(320)在竖直方向上位于所述载台(200)的上方；

对位装置，所述对位装置设置在所述支架(300)的横梁(320)的Y方向的一侧，用于对所述待蚀刻产品进行对位；

激光装置，所述激光装置设置在所述支架(300)的横梁(320)的Y方向上与所述对位装置相背的一侧，用于对所述待蚀刻产品进行蚀刻。

2.根据权利要求1所述的激光直接成像设备，其特征在于，所述对位装置包括：

对位相机滑轨，所述对位相机滑轨沿着所述支架(300)的横梁(320)的X方向设置；

对位相机(410)，所述对位相机(410)可滑动地连接所述对位相机滑轨，通过所述对位相机(410)对所述待蚀刻产品进行对位；

对位相机驱动装置，所述对位相机驱动装置驱动所述对位相机(410)沿着所述对位相机滑轨运动。

3.根据权利要求2所述的激光直接成像设备，其特征在于，

所述对位相机(410)包括第一对位相机和第二对位相机；

所述对位相机驱动装置包括第一对位相机驱动装置和第二对位相机驱动装置，所述第一对位相机驱动装置驱动第一对位相机沿着所述对位相机滑轨运动，所述第二对位相机驱动装置驱动所述第二对位相机沿着所述对位相机滑轨运动。

4.根据权利要求1所述的激光直接成像设备，其特征在于，所述激光装置包括：

光学系统滑轨，所述光学系统滑轨沿着所述支架(300)的横梁(320)的X方向设置；

安装板，所述安装板可滑动地连接所述光学系统滑轨；

光学系统(510)，所述光学系统(510)设置在所述安装板上，所述激光装置通过所述光学系统(510)传递激光，以对所述待蚀刻产品进行蚀刻；

光学系统驱动装置，所述光学系统驱动装置驱动所述安装板沿着所述光学系统滑轨运动。

5.根据权利要求4所述的激光直接成像设备，其特征在于，所述光学系统(510)有多个，多个所述光学系统(510)均匀地间隔开设置在所述安装板上。

6.根据权利要求5所述的激光直接成像设备，其特征在于，所述激光装置还包括：

校正装置，所述校正装置包括校正相机(610)，所述校正相机(610)设置在所述安装板的外缘用于采集蚀刻后图像，所述校正装置根据所述蚀刻后图像确定偏差以校正蚀刻精度。

7.根据权利要求6所述的激光直接成像设备，其特征在于，所述校正相机(610)有两个，分别邻近沿着X方向排列的多个所述光学系统(510)中的第一个所述光学系统(510)和最后一个所述光学系统(510)。

8.根据权利要求1所述的激光直接成像设备，其特征在于，所述载台驱动装置包括直线电机。

9.根据权利要求1所述的激光直接成像设备，其特征在于，还包括：

升降装置，所述升降装置设置在所述底座(100)上且连接在所述载台(200)的下方，以驱动所述载台(200)进行升降运动。

10.根据权利要求1所述的激光直接成像设备，其特征在于，所述底座(100)的材料为大理石材料。