[发明专利]一种高反射样品激光损伤阈值测试装置

权利要求书

1.一种高反射样品激光损伤阈值测试装置，其特征在于，包括激光器、能量调节单元、第一分束器、第二分束器、光楔、功率计、光谱分析仪、单色信号光源、准直系统、样品、聚焦系统、CCD以及数据处理单元；

所述激光器用于产生激光脉冲光束；所述能量调节单元用于根据需求调节激光光束的能量；所述第一分束器将经过能量调节的激光分成两束，一束送给第二分束器，另一束送入功率计；所述功率计用于测量激光光束的功率；第二分束器对于接收的激光光束分成两束，一束送入光楔，另一束送入光束分析仪；所述光束分析仪用于测量光束的光斑大小；

光束透过光楔最终作用在样品上；所述样品在位移台的带动下在同一水平面内进行位移，即同一能量激光光束每次在样品位移时在其表面形成一个作用点；

所述光楔在位移台的带动下在同一水平面内进行位移，用于改变最终射向样品的激光光束的光程，其位移方式满足：使得同一能量激光光束到达样品表面的光程均相等；

所述单色信号光源产生的单色光经准直系统准直后照射到样品表面；CCD通过聚焦系统对样品表面成像；

所述数据处理单元根据激光光束的功率和光斑大小计算激光的能量密度；并根据不同能量的激光光束作用后样品表面成像，判断表面损伤情况，最终确定样品的损伤阈值。

2.如权利要求1所述的一种高反射样品激光损伤阈值测试装置，其特征在于，当样品与垂面所成角度过大时，采用两个所述光楔进行光程补偿；其中，垂面为与激光光轴垂直的平面；两个光楔垂直面相依，垂直面与垂面平行，两个光楔的楔角方向相反。

3.如权利要求1所述的一种高反射样品激光损伤阈值测试装置，其特征在于，所述能量调节单元采用λ/2波片和偏振片组合实现。

4.如权利要求1所述的一种高反射样品激光损伤阈值测试装置，其特征在于，还包括指示激光器和全反镜；指示激光器产生的激光由全反镜依次经第一分束器、第二分束器及光楔反射到样品表面，且指示激光器的光束与激光器同光轴。

5.如权利要求1所述的一种高反射样品激光损伤阈值测试装置，其特征在于，还包括由偏振片和隔离器组成激光器保护单元，避免光路回光进入激光器损坏激光器。

6.如权利要求1所述的一种高反射样品激光损伤阈值测试装置，其特征在于，还包括激光快门，用于控制脉冲重频。

7.如权利要求6所述的一种高反射样品激光损伤阈值测试装置，其特征在于，还包括光电探测器，用于测试激光脉冲宽度和重复频率。