[发明专利]白光干涉系统

权利要求书

1.一种白光干涉系统，其特征在于，包括：

白光光源；

第一分束器，用于将所述白光光源的输入光束分成两路后输出至第一偏振分束器；且所述第一分束器与所述第一偏振分束器之间形成第一矩形光路结构，所述第一矩形光路结构的另外两顶点分别各设置有一个第一反射镜；

所述第一偏振分束器与第二偏振分束器、第二分束器及第二反射镜分设于第二矩形光路结构的四顶点；

所述第一偏振分束器与第三偏振分束器、第三分束器及第三反射镜分设于第三矩形光路结构的四顶点；

所述第一、第二及第三分束器为用于将入射光束分成一路透射光和一路反射光的同类型的一类分束器；

所述第一、第二及第三偏振分束器为用于透射P光并反射S光的同类型的二类分束器；

在所述第二矩形光路结构中，在所述第一偏振分束器与所述第二反射镜之间设置有所述第三偏振分束器；在所述第三偏振分束器与所述第二反射镜之间设置有第一反射式光程调节器，在所述第二分束器的正下方设置有通过上下移动来调节S光光程的第四反射镜；

在所述第二分束器的右侧设置有第二偏振片，所述第二偏振片用于将所述第二矩形光路中的P光和S光发生干涉后传输至第一图像传感器；

在所述第三矩形光路结构中，在所述第一偏振分束器与所述第三分束器之间设置有所述第二偏振分束器；在所述第二偏振分束器与所述第三反射镜之间设置有第二反射式光程调节器，在所述第三分束器的正上方设置有通过上下移动来调节S光光程的第五反射镜；

在所述第三分束器的右侧设置有第三偏振片，所述第三偏振片用于将所述第三矩形光路中的P光和S光发生干涉后传输至第二图像传感器；

其中，所述第一和第二反射式光程调节器各分别通过至少三块反射镜将P光进行改向后复原以调整光程。

2.根据权利要求1所述的白光干涉系统，其特征在于，所述第一和第二反射式光程调节器包括分布于上下左右的四个反射镜；用于将第二和第三矩形光路结构由“口”字型结构转换成能调节P光光程的“凸”字型结构；且P光光程的调节幅度变化与凸出高度成二倍线性关系。

3.根据权利要求2所述的白光干涉系统，其特征在于，在所述第二矩形光路结构中，位于左侧的上下两个反射镜同步进行左右方向的矢量位移；和/或

在所述第三矩形光路结构中，位于上部的左右两个反射镜同步进行上下方向的矢量位移。

4.根据权利要求1所述的白光干涉系统，其特征在于，所述第一矩形光路结构中的两个所述第一反射镜分别为样品表面和参考镜表面。

5.根据权利要求1至4任一所述的白光干涉系统，其特征在于，将所述第一反射式光程调节器与所述第四反射镜分别对P光和S光的光程调节对调为以所述第一反射式光程调节器对S光进行光程调节、以及以所述第四反射镜对P光进行光程调节；具体对调关系包括：

将所述第一反射式光程调节器移位至所述第二偏振分束器与所述第三分束器之间，以及将所述第二偏振片及所述第一图像传感器的组合与所述第四反射镜的位置进行互换。

6.根据权利要求1至4任一所述的白光干涉系统，其特征在于，将所述第二反射式光程调节器与所述第五反射镜分别对P光和S光的光程调节对调为以所述第二反射式光程调节器对S光进行光程调节、以及以所述第五反射镜对P光进行光程调节；具体对调关系包括：

将所述第二反射式光程调节器移位至所述第三偏振分束器与所述第三反射镜之间，以及将所述第三偏振片及所述第二图像传感器的组合与所述第五反射镜的位置进行互换。

7.根据权利要求5所述的白光干涉系统，其特征在于，将所述第二反射式光程调节器与所述第五反射镜分别对P光和S光的光程调节对调为以所述第二反射式光程调节器对S光进行光程调节、以及以所述第五反射镜对P光进行光程调节；具体对调关系包括：

将所述第二反射式光程调节器移位至所述第三偏振分束器与所述第三反射镜之间，以及将所述第三偏振片及所述第二图像传感器的组合与所述第五反射镜的位置进行互换。