[发明专利]一种手指间距可调的晶圆搬运机构

权利要求书

1.一种手指间距可调的晶圆搬运机构，其特征在于，包括底板、导向条、垂直出气孔、倾斜喷气嘴、传感器、喷气嘴进气口、喷气嘴固定块、喷气嘴角度调整轴、垂直出气孔供气块、垂直出气孔进气口；

所述底板一端两侧面设有导向条；在底板上设有两排垂直出气孔；

所述底板另一端通过喷气嘴固定块和喷气嘴角度调整轴设有两个倾斜喷气嘴，还设有传感器；

所述底板背面设有与倾斜喷气嘴连接的喷气嘴进气口；

所述底板背面设有与垂直出气孔连接的垂直出气孔供气块，垂直出气孔供气块上设有垂直出气孔进气口。

2.根据权利要求1所述的一种手指间距可调的晶圆搬运机构，其特征在于，底板上设有调整导向条间距的导向条可调整固定孔。

3.根据权利要求1所述的一种手指间距可调的晶圆搬运机构，其特征在于，当底板伸到花篮内传感器检测到光伏片时，将压缩空气冲入垂直出气孔供气块内，压缩空气由垂直出气孔排出，形成空气垫，将光伏片吹起使其悬浮于底板上方；

倾斜喷气嘴通过喷气嘴角度调整轴固定于喷气嘴固定块上，实现倾斜喷气嘴出气角度可调节，当光伏片悬浮后将压缩空气由喷嘴进气口进入倾斜喷气嘴，倾斜喷气嘴喷出气体带动光伏片向后水平运动，使光伏片沿空气导轨向后运动，将光伏片在花篮中取出，重复以上动作直至将整个花篮内光伏片全部取出。