[发明专利]一种氧化亚硅/金属复合薄膜负极及其制备方法在审
| 申请号： | 202010728648.6 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN111916657A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 岳之浩;周浪;徐国军 | 申请（专利权）人： | 江西昌大高新能源材料技术有限公司 |
| 主分类号： | H01M4/04 | 分类号： | H01M4/04;H01M4/48;H01M4/62;H01M4/139;H01M10/0525 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 许莹莹 |
| 地址： | 330096 江西省南昌市南昌高新技术*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 金属 复合 薄膜 负极 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种氧化亚硅/金属复合薄膜负极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤(1)，将歧化后的氧化亚硅粉体压制成靶材；
步骤(2)，采用磁控溅射法在铜箔表面制备一层氧化亚硅薄膜；
步骤(3)，采用磁控溅射法在氧化亚硅薄膜表面制备一层金属颗粒；
步骤(4)，依次重复步骤(2)和步骤(3)n次。
2.根据权利要求1所述的氧化亚硅/金属复合薄膜负极的制备方法，其特征是所述的单层氧化亚硅薄膜的厚度为10-5000nm。
3.根据权利要求1所述的氧化亚硅/金属复合薄膜负极的制备方法，其特征是所述金属颗粒的粒径小于单层氧化亚硅薄膜的厚度。
4.根据权利要求1所述的氧化亚硅/金属复合薄膜负极的制备方法，其特征是步骤(4)所述重复次数n为1-100。
5.一种氧化亚硅/金属复合薄膜负极，其特征在于，采用权利要求1至4任一项所述的制备方法制备得到。
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