[发明专利]一种晶圆检查机

权利要求书

1.一种晶圆检查机，包括LP组件(1)、机械手组件(2)、预对准组件(3)、宏观检测组件(4)、晶背检查组件(5)、自动跑位组件(6)、第一壳体(7)、传感器(8)、第一固定板(9)、盖板(10)、送料臂(11)、箱体(12)、连接杆(13)、机械臂(14)、底座(15)、安装板(16)、第二固定板(17)、第一通孔(18)、第二壳体(19)、承片台(20)、第二通孔(21)、第一支撑臂(22)、第三壳体(23)、支撑台(24)、显示器(25)、显微镜(26)、固定块(27)、第二支撑臂(28)、顶盖(29)、警报灯(30)、观察窗(31)、滑轨(32)、滑块(33)和侧门(34)，其特征在于：所述支撑台(24)顶部中心一侧与第三壳体(23)底部固定连接，所述支撑台(24)顶部中心与显微镜(26)底部固定连接，所述显微镜(26)一侧设置有显示器(25)，所述显示器(25)底部与支撑台(24)顶部一侧固定连接，所述支撑台(24)一侧与箱体(12)一侧焊接，所述箱体(12)位于支撑台(24)一侧中上部与侧门(34)通过铰链铰接，所述侧门(34)上方设置有观察窗(31)，所述观察窗(31)与箱体(12)中上部侧壁通过铰链铰接，所述箱体(12)顶部与顶盖(29)底部焊接，所述顶盖(29)顶部一侧与警报灯(30)底部通过螺栓固定连接，所述箱体(12)内部中上部设置有安装板(16)，所述安装板(16)与箱体(12)固定连接，所述箱体(12)位于支撑台(24)相邻一侧靠近顶部位置设置有LP组件(1)，所述安装板(16)顶部一侧与宏观检测组件(4)底部通过螺栓固定连接，所述宏观检测组件(4)一侧设置有晶背检查组件(5)，所述安装板(16)顶部另一侧与预对准组件(3)底部通过螺栓固定连接，所述安装板(16)顶部位于LP组件(1)同侧与机械手组件(2)底部固定连接，所述支撑台(24)靠近顶部中心设置有自动跑位组件(6)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机，其特征在于：所述LP组件(1)由第一壳体(7)、传感器(8)、第一固定板(9)、盖板(10)和送料臂(11)组成，所述传感器(8)底部与盖板(10)顶部固定连接，所述盖板(10)底部与第一壳体(7)顶部固定连接，所述第一壳体(7)一侧与箱体(12)一侧固定连接，所述第一壳体(7)一侧与送料臂(11)一端固定连接，所述第一壳体(7)下方设置有第一固定板(9)，所述第一固定板(9)与箱体(12)一侧固定连接，所述第一固定板(9)顶部设置有送料台，且送料台底部设置有伺服电机和丝杆。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机，其特征在于：所述机械手组件(2)由连接杆(13)、机械臂(14)、底座(15)和第二固定板(17)组成，所述底座(15)底部与安装板(16)顶部通过螺栓固定连接，所述底座(15)顶部两侧设置有轨道，所述第二固定板(17)位于轨道上方，所述底座(15)中心一侧设置有电机和丝杆，且丝杆上的螺母块顶端与第二固定板(17)底部一侧固定连接，所述第二固定板(17)顶部一侧设置有电机，电机输出端与机械臂(14)底部一侧固定连接，所述机械臂(14)底部另一侧与连接杆(13)一端固定连接，所述连接杆(13)另一端与载料盘通过螺栓固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机，其特征在于：所述预对准组件(3)由第一通孔(18)、第二壳体(19)、承片台(20)、第二通孔(21)和第一支撑臂(22)组成，所述第二壳体(19)底部与安装板(16)顶部通过螺栓固定连接，所述第二壳体(19)顶部中心一侧设置有承片台(20)，所述承片台(20)顶部中心开设有若干第二通孔(21)，所述承片台(20)顶部中心一侧开设有若干第一通孔(18)，所述第二壳体(19)顶部中心另一侧靠近边角位置与第一支撑臂(22)底部固定连接，所述第一支撑臂(22)顶部中心一侧设置有感应器。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机，其特征在于：所述宏观检测组件(4)由载料台、电机和转轴组成，载料台底部与转轴一端固定连接，且转轴另一端与电机输出端固定连接。