[发明专利]包括冷却装置的加热器组件及其使用方法

权利要求书

1.一种组件，包括：

前体源容器；

加热元件，所述加热元件与所述前体源容器热连通；以及

冷却装置，所述冷却装置与所述加热元件热接触，

其中所述加热元件加热所述前体源容器的内部，并且其中所述冷却装置从所述加热元件去除热。

2.根据权利要求1所述的组件，其中，所述加热元件包括与所述前体源容器热接触的加热板。

3.根据权利要求2所述的组件，其中，所述冷却装置包括冷却板，所述冷却板与所述加热板热接触。

4.根据权利要求3所述的组件，其中，所述冷却板包括顶侧和底侧，其中所述顶侧与所述加热板热接触，并且其中所述底侧与一条或多条冷却管线热接触。

5.根据权利要求4所述的组件，其中，所述组件还包括阀，所述阀被构造成控制流体通过所述一条或多条冷却管线的流速。

6.根据权利要求5所述的组件，其中，所述流体选自空气、水、冷却水或乙二醇中的至少一者。

7.根据权利要求6所述的组件，其中，所述一条或多条冷却管线包括铝、不锈钢、镍或哈氏合金中的至少一者。

8.根据权利要求7所述的组件，其中，所述冷却板包括铝、不锈钢、镍或哈氏合金中的至少一者。

9.根据权利要求6所述的组件，还包括控制系统，所述控制系统被配置成控制所述流体的流速和所述流体的温度中的一者或多者。

10.根据权利要求9所述的组件，其中，所述控制系统与一个或多个传感器通信，所述一个或多个传感器被配置成检测所述加热板的运行温度。

11.根据权利要求10所述的组件，其中，所述冷却管线包括在所述冷却板的中心部分附近集中的蛇形路径。

12.一种控制前体源容器的内部的温度的方法，所述方法包括使用加热元件加热所述前体源容器，以及使用冷却装置冷却所述加热元件。

13.根据权利要求12所述的方法，其中，将所述内部加热到所需温度，所述所需温度大于前体的升华温度并且小于所述前体的分解温度。

14.根据权利要求12所述的方法，其中，所述所需温度在约90℃与250℃之间，或约110℃与约210℃之间。

15.根据权利要求12所述的方法，其中，所述加热元件在基板过程期间连续地提供热以维持所述所需温度。

16.根据权利要求12所述的方法，其中，所述前体源容器内的压力在约真空压力与约760托之间，或约5托与约50托之间。

17.根据权利要求12所述的方法，其中，所述冷却板包括顶侧和底侧，其中所述顶侧与所述加热元件热接触，并且其中一条或多条冷却管线附接到所述冷却板的底侧的周边。

18.根据权利要求16所述的方法，其中，所述冷却管线被构造成保持水，并且其中所述水的流速和所述水的温度中的至少一者能够用于操纵所述冷却板的冷却功能。

19.根据权利要求12所述的方法，其中，温度梯度在所述内部中形成，所述温度梯度从所述前体源容器的底端处的第一温度到所述前体源容器的顶端附近的第二温度，

其中，所述第一温度小于所述第二温度。

20.根据权利要求12所述的方法，其中，所述加热元件被关闭并且所述冷却装置从所述加热元件汲取余热，从而快速降低所述前体源容器的内部的温度。

21.一种包括组件的反应器系统，所述反应器系统包括：

反应器；

前体源容器；

加热元件，所述加热元件与所述前体源容器热接触；以及

冷却装置，所述冷却装置与所述加热元件热接触，

其中所述加热元件加热所述前体源容器的内部，并且其中所述冷却装置从所述加热元件去除热，

其中，温度梯度在所述内部中形成，所述温度梯度从所述前体源容器的底端处的第一温度到所述前体源容器的顶端附近的第二温度，

其中所述第一温度小于所述第二温度。