[发明专利]一种覆铜陶瓷基板镀镍方法有效
申请号: | 202010730421.5 | 申请日: | 2020-07-27 |
公开(公告)号: | CN111945139B | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 王斌;贺贤汉;孙泉;葛荘;欧阳鹏 | 申请(专利权)人: | 江苏富乐华半导体科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C18/36 | 分类号: | C23C18/36;C23C18/18;C23F3/06;C23F1/18 |
代理公司: | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人: | 赵建敏 |
地址: | 224200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 陶瓷 基板镀镍 方法 | ||
1.一种覆铜陶瓷基板镀镍方法,其特征在于,在陶瓷覆铜板图形化工艺后进行,包括如下步骤:
1)制备高光面铜面
在20℃-35℃条件下,将覆铜陶瓷基板置于抛光液中抛光5min-30min,抛光后不进行烘干,保持湿板状态;所述抛光液选用氯酸钠与盐酸体系抛光液,该抛光液中,氯酸钠浓度为1.0-1.3g/L,盐酸浓度为20g/L-80g/L;
2)清洗、烘干
将经步骤1)处理后的覆铜陶瓷基板依次进行除油、酸性微蚀、溢流水洗、冷风吹干、防氧化清洗、溢流水洗、超声水洗后,先表面吸水处理,而后采用热风烘干;
3)化学镀镍
将经步骤2)处理后的覆铜陶瓷基板依次进行弱蚀、水洗、活化、水洗处理后进行化学镀镍,所述化学镀镍使用硫酸镍和次磷酸钠体系的化学镀镍液,镀镍时pH值控制在4-6,温度控制在80℃-100℃,
所述化学镀镍液中硫酸镍含量在10-25g/L,次磷酸钠的含量在15-20g/L,溶液pH控制在4.9-5.3;
4)超声溶剂清洗
将镀镍后的覆铜陶瓷基板浸没在无水乙醇、异丙醇、丙酮中的一种溶剂或几种混合液中常温超声15min-30min,随后水洗、烘干。
2.根据权利要求1所述的覆铜陶瓷基板镀镍方法,其特征在于:
其中,所述水洗为常温纯水超声清洗5min-10min,烘干为80℃-100℃热风烘干5min-30min。
3.根据权利要求1所述的覆铜陶瓷基板镀镍方法,其特征在于:
其中,步骤2)中,除油处理时,将覆铜陶瓷基板依次在丙酮溶液中超声浸洗3min-5min,在无水乙醇中超声浸洗1min-3min,在纯水中超声浸洗1min-3min;酸性微蚀处理时,在温度20-40℃条件下,经包含2-4g/L硫酸和40-80g/L硫代硫酸钠的酸蚀液处理3-5min;两次溢流水洗条件均为常温溢流水洗1-5min;冷风吹干温度为15-25℃,处理时间为3-10min;防氧化清洗时,采用铜面抗氧化剂处理1-5min;超声水洗时,采用常温纯水超声水洗5~10min。
4.根据权利要求1所述的覆铜陶瓷基板镀镍方法,其特征在于:
其中,步骤2)中,水洗后的覆铜陶瓷基板先经吸水滚轮吸干表面水分,而后在80~100℃热风条件下烘干。
5.根据权利要求1所述的覆铜陶瓷基板镀镍方法,其特征在于:
其中,步骤3)中,弱蚀处理时,采用5-50g/L稀硫酸,室温处理5s-15s;水洗处理时,常温水洗60s-150s;活化处理时,使用离子型钯盐活化液,活化温度为15℃-30℃,时间为60s-200s。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理