[发明专利]流体质量流量控制器的标定方法及标定装置

说明书

本发明提供一种流体质量流量控制器的标定方法及标定装置，其中，流体质量流量控制器的标定方法包括：向流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的功能单元反馈的与各参数值对应的第二参数的参数值，其中，第二参数与第一参数相关联；根据第一参数的参数值和对应的第二参数的参数值，确定第一参数和第二参数的对应关系；根据对应关系对相应的功能单元进行标定，以实现对流体质量流量控制器的标定。本发明提供的流体质量流量控制器的标定方法及标定装置，能够提高标定的一致性和可靠性，并提高标定效率，从而提高流体质量流量控制器的质量。

技术领域

本发明涉及流体控制装置技术领域，具体地，涉及一种流体质量流量控制器的标定方法及标定装置。

背景技术

数字式气体质量流量控制器(Digital Mass Flow Controller，简称DMFC)，广泛应用于光伏、燃料电池及半导体等领域，其能够通过数字信号实时监控流体流量，并对流体流量进行实时调节。而数字式气体质量流量控制器的精度以及精度的可靠性，又是影响其所应用的领域中的工艺的准确性及稳定性的关键因素。因此，决定数字式气体质量流量控制器的精度及精度的可靠性的标定方法就变得尤为重要。

现有的标定方法，主要是依靠人为控制相关设备来完成数字式质量流量控制器的标定和检验，其耗时相对较长，且标定过程过多地依靠人工采集瞬时数据，而受到人工的主观因素影响，人工采集的瞬时数据参差不齐，导致标定出的产品质量参差不齐，一致性和可靠性相对较差，使得在客户端应用具有很高的质量风险。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种流体质量流量控制器的标定方法及标定装置，其能够提高标定的一致性和可靠性，并提高标定效率，从而提高流体质量流量控制器的质量。

为实现本发明的目的而提供一种流体质量流量控制器的标定方法，包括：

向所述流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的所述功能单元反馈的与各所述参数值对应的第二参数的参数值，其中，所述第二参数与所述第一参数相关联；

根据所述第一参数的参数值和对应的所述第二参数的参数值，确定所述第一参数和所述第二参数的对应关系；

根据所述对应关系对相应的所述功能单元进行标定，以实现对所述流体质量流量控制器的标定。

优选的，所述功能单元包括模数转换单元；

所述向所述流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的所述功能单元反馈的与各所述参数值对应的第二参数的参数值，包括：

向所述模数转换单元发送模拟电压值，并获取所述模数转换单元转换反馈的与所述模拟电压值对应的数字量；

所述根据所述第一参数的参数值和对应的所述第二参数的参数值，确定所述第一参数和所述第二参数的对应关系，包括：

根据所述模拟电压值、所述数字量和关于二者的第一预设关系式进行拟合运算，获得第一拟合函数，所述第一拟合函数表示所述模拟电压值和所述数字量的对应关系；

所述根据所述对应关系对相应的所述功能单元进行标定，以实现对所述流体质量流量控制器的标定，包括：

将所述第一拟合函数写入所述模数转换单元，以实现通过输入所述模拟电压值来对所述流体质量流量控制器的流量值进行标定。

优选的，所述功能单元包括数模转换单元；

所述向所述流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的所述功能单元反馈的与各所述参数值对应的第二参数的参数值，包括：

向所述数模转换单元发送数字量，并获取所述数模转换单元反馈的与所述数字量对应的模拟电压值；