[发明专利]一种熔盐缓蚀剂投放装置及投放方法

权利要求书

1.一种熔盐缓蚀剂投放装置，其特征在于，包括：

料仓(2)，储有缓蚀剂；

混合仓(3)，设有工质进口(4)和工质出口(5)且通有工质；

第一投料通道，设于所述料仓(2)和所述混合仓(3)之间且用于连通两者，所述缓蚀剂通过所述第一投料通道进入所述混合仓(3)与所述工质混合；

第一封闭组件，用于开启或关闭所述第一投料通道；

旋转组件，设于所述混合仓(3)，所述工质流动驱动所述旋转组件旋转；

传动组件，连接所述旋转组件和所述第一封闭组件；

其中，所述旋转组件通过所述传动组件传动使所述第一封闭组件旋转，所述第一封闭组件旋转时周期性开启或关闭所述第一投料通道。

2.根据权利要求1所述的熔盐缓蚀剂投放装置，其特征在于，包括：

隔离仓(6)，设于所述料仓(2)和所述混合仓(3)之间，所述第一投料通道设于所述料仓(2)和所述隔离仓(6)之间且用于连通两者；

第二投料通道，设于所述隔离仓(6)和所述混合仓(3)之间且用于连通两者；

第二封闭组件，用于开启或关闭所述第二投料通道，且所述第二投料通道开启时，所述第一投料通道关闭。

3.根据权利要求2所述的熔盐缓蚀剂投放装置，其特征在于，包括加压组件，用于向所述隔离仓(6)内充入气体。

4.根据权利要求3所述的熔盐缓蚀剂投放装置，其特征在于，包括：

充气通道，设于所述传动组件内，所述传动组件穿设于所述隔离仓(6)且设有连通所述充气通道和所述隔离仓(6)的出气孔(8)，所述充气通道一端与所述隔离仓(6)连通、另一端与所述加压组件的出气部连通。

5.根据权利要求4所述的熔盐缓蚀剂投放装置，其特征在于，包括第三封闭组件，固设于所述隔离仓(6)内，所述传动组件穿设且转动连接于所述第三封闭组件，所述第三封闭组件设有用于连通所述出气孔(8)和所述隔离仓(6)的连接孔(10)，所述传动组件旋转时所述出气孔(8)和所述连接孔(10)周期性重合或错位，以使所述充气通道周期性的与所述隔离仓(6)连通。

6.根据权利要求3所述的熔盐缓蚀剂投放装置，其特征在于，所述加压组件为回转式气体压缩机，所述传动组件连接于所述回转式气体压缩机的转子。

7.根据权利要求2所述的熔盐缓蚀剂投放装置，其特征在于，所述第二封闭组件与所述传动组件连接，所述传动组件驱动所述第二封闭组件旋转，所述第二封闭组件旋转时周期性开启或关闭所述第二投料通道。

8.根据权利要求7所述的熔盐缓蚀剂投放装置，其特征在于：

所述第一封闭组件为第一旋转件(16)，所述第一旋转件(16)设于所述料仓(2)的一端，同时套设且固连于所述传动组件且由其驱动以旋转，所述第一旋转件(16)设有第一漏料槽(17)；

所述第一旋转件(16)的一侧设置有第一固定件(18)，所述第一固定件(18)固连于所述料仓(2)的一端，所述第一固定件(18)设有第二漏料槽(19)，所述第一漏料槽(17)和所述第二漏料槽(19)配合形成所述第一投料通道；

所述第一旋转件(16)旋转时，所述第一漏料槽(17)与所述第二漏料槽(19)周期性重合或错位以使所述第一投料通道开启或关闭。