[发明专利]掩膜板框体组件和掩膜板组件在审
申请号: | 202010732964.0 | 申请日: | 2020-07-27 |
公开(公告)号: | CN111996487A | 公开(公告)日: | 2020-11-27 |
发明(设计)人: | 侯炜轩 | 申请(专利权)人: | 维信诺科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
代理公司: | 广东君龙律师事务所 44470 | 代理人: | 丁建春 |
地址: | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掩膜板框体 组件 掩膜板 | ||
本申请公开了一种掩膜板框体组件和掩膜板组件,掩膜板框体组件包括框体和固定机构,框体用于对掩膜板提供支撑;固定机构用于固定掩膜板;固定机构与所述框体活动连接,用于动态调整所述掩膜板的张网力度/精度。通过上述方式,本申请能够提高掩膜板的张网精度。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,特别是涉及掩膜板框体组件和掩膜板组件。
背景技术
随着电子技术的发展,有机电致发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)显示器因为其具有亮度高、响应快、能耗低、成本低等优点,应用越来越广泛。在OLED显示面板的制备过程中,通常会使用到掩膜板,掩膜板用于控制材料沉积在基板上的位置,从而在基板上形成不同形状的图案,掩膜板包括精密金属掩膜板(Fine Metal Mask,FMM)和通用金属掩膜板(Common Metal Mask,CMM),精密金属掩膜板用于蒸镀发光材料层,通用金属掩膜板用于蒸镀有机共同层等。
其中,掩膜板主要由框体(Frame)和网面(Sheet)两部分组成,掩膜板一般采用张网技术制作,现有张网工艺是将网面拉伸后,以焊接的方式与框体组合成完整的掩膜板。但是这种张网方式还有一些缺点,一是在返修(Rework)的时候需将网面与框体拆除,拆除网面后的框体需将残留的焊点打磨后才能重新使用,会有框体厚度减薄至不能使用的情况;二是网面在焊接完成后网面的张网位置精度(Pixel Position Accuracy,PPA)无法调整,需要改进。
发明内容
本申请主要解决的技术问题是提供一种掩膜板框体组件和掩膜板组件,能够提高掩膜板的张网精度。
为解决上述技术问题,本申请采用的一个技术方案是:提供一种掩膜板框体组件,掩膜板框体组件包括框体和固定机构,框体用于对掩膜板提供支撑;固定机构用于固定掩膜板;固定机构与所述框体活动连接,用于动态调整所述掩膜板的张网力度和/或张网精度。
其中,所述固定机构包括滚轴和滚轴支架,滚轴支架用于支撑固定滚轴,所述滚轴能够相对所述滚轴支架转动,用于卷收所述掩膜板,对所述掩膜板进行固定。
其中,所述滚轴为圆柱形。
其中,圆柱形的所述滚轴的侧面具有一侧平面,用于焊接固定所述掩膜板。
其中,所述框体上设置有导轨机构,所述固定机构与所述导轨机构滑动连接,用于动态调整所述固定机构与所述框体的相对位置。
其中,所述导轨机构为滑槽,所述固定机构通过滑块与所述导轨机构滑动连接。
其中,所述滑块与所述固定机构可拆卸连接。
其中,所述掩膜板框体组件还包括止停机构,止停机构用于固定所述固定机构和所述框体。
其中,所述止停机构包括卡扣组件,所述卡扣组件包括卡槽和卡条,所述卡槽设置在所述滑槽相对的两侧,所述卡条横跨所述滑槽插接在两侧的所述卡槽内,以对所述滑块进行限位固定。
其中,所述框体包括顺次连接并形成一多边封闭区域的多个框条,所述固定机构为多个,分别位于多个所述框条上。
其中,所述固定机构为多组,每组包括相对设置的两个所述固定机构,分别位于相对边的两个所述框条上。
其中,所述固定机构与所述框体的材质相同。
为解决上述技术问题,本申请采用的另一个技术方案是:提供一种掩膜板组件,掩膜板组件包括掩膜板和掩膜板框体组件,掩膜板框体组件包括框体和用于固定掩膜板的固定机构,所述固定机构与所述框体活动连接,用于动态调整所述掩膜板的张网力度或/或张网精度。
其中,所述掩膜板与所述固定机构非破坏性连接,所述非破坏性连接包括不改变所述掩膜板结构的连接方式,所述掩膜板卷绕在所述固定机构的滚轴上。
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