[发明专利]一种深能级瞬态谱触发信号的控制方法、装置及存储介质

说明书

本发明提供了一种深能级瞬态谱触发信号的控制方法、装置及存储介质，涉及测试技术领域，包括：根据预设时长确定触发信号曲线数据，触发信号曲线数据包括零电压数据段、过渡曲线数据段、保持幅度数据段，过渡曲线数据段构成平滑的上升沿曲线或下降沿曲线，用于实现零电压数据段和保持幅度数据段之间的平滑过渡；将触发信号曲线数据转化为模拟信号；对模拟信号进行调制形成注入电压信号，以将注入电压信号注入至被测器件。本发明采用零电压注入形式，使注入脉冲信号由零电压沿分段指数函数波形形式构成信号的上升沿和下降沿，消除波形的尖锐边沿，消除其瞬态变化高频畸变，从而保证了触发的瞬态性，又减小了系统的干扰。

技术领域

本发明涉及测试技术领域，具体而言，涉及一种深能级瞬态谱触发信号的控制方法、装置及存储介质。

背景技术

深能级瞬态谱(Deep Level Transient Spectroscopy，DLTS)是研究半导体的掺杂浓度、缺陷能级位、界面态(俘获界面)的一种有效手段，其原理是对被测半导体施加适当的反向偏置电压，并叠加一周期性的脉冲电压，在脉冲的作用下，电子在深能级上有一个填充、释放的过程，以此形成电容瞬态，通过电容瞬态的信息确定深能级瞬态谱的谱线。

现有深能级瞬态谱测试方法中，一般采用一个直流电源与一个脉冲开关施加给被测器件，通过控制脉冲开关的通断，在被测件两端叠加一个正向或者负向电压。这种突变式地注入脉冲信号会产生非常大的电压变化量和电流变化量，从而产生强烈的信号抖动、电磁干扰。一方面，在该测试方法中，由于干扰信号是随机的，很难采取相应的手段去消除干扰信号；另一方面，干扰还会通过传导和辐射的方式传播到系统的其它部分，对其余部分的微弱电压测量和微弱电流测量影响较大。因而，现有深能级瞬态谱测试方法中，触发信号的手段往往会引入多种干扰信号，且该种干扰信号难以消除，很大程度上影响了最终结果的准确性。

发明内容

有鉴于此，本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题。为达上述目的，本发明提供了一种深能级瞬态谱触发信号的控制方法，基于零电压深能级瞬态谱触发信号的控制系统，所述控制系统包括控制电路、数模转换器电路和信号注入电路，所述深能级瞬态谱触发信号的控制方法包括如下步骤：

根据预设时长确定触发信号曲线数据，所述触发信号曲线数据包括零电压数据段、过渡曲线数据段、保持幅度数据段，在所述零电压数据段中，电压幅值保持为零，在所述保持幅度数据段中，电压幅值保持为预设常数，所述过渡曲线数据段构成所述零电压数据段和所述保持幅度数据段之间平滑的上升沿曲线或下降沿曲线，用于实现所述零电压数据段和所述保持幅度数据段之间的平滑过渡，其中，所述过渡曲线数据段形成的曲线平滑度由所述预设时长确定；

将所述触发信号曲线数据转化为模拟信号；

对所述模拟信号进行调制形成注入电压信号，以将所述注入电压信号注入至被测器件。

由此，本发明利用过渡曲线数据段，使注入脉冲信号由零电压沿过渡曲线数据段函数波形形式构成信号的上升沿和下降沿，消除了施加在被测器件的信号的尖锐边沿，消除其瞬态变化高频干扰，降低为已知频率的微弱干扰，提高了测试的可靠性。

进一步地，所述过渡曲线数据段包括多段平滑曲线数据段，多段所述平滑曲线数据段对应不同的曲线参数，所述曲线参数由对应的所述平滑曲线数据段形成的曲线平滑度确定。

由此，曲线参数调节过渡曲线数据的数据变化快慢，即曲线平滑度，根据曲线参数生成触发信号曲线数据进一步保证了过渡时间能按多种实际需要调节，加强了灵活性。

进一步地，所述过渡曲线数据段包括上升沿过渡曲线数据段，所述上升沿过渡曲线数据段包括多段上升平滑曲线数据段，用于使所述零电压数据段平滑过渡至所述保持幅度数据段。

由此，本发明通过设置多个上升平滑曲线数据段，有效促使零电压数据段平稳地过渡至保持幅度数据段，防止硬切换引入的信号畸变，从而保证了深能级瞬态谱能量注入的准确性。