[发明专利]一种铜铟镓靶材背衬管回收利用方法在审
| 申请号： | 202010736499.8 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN111962031A | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 蒋明伟;徐晓华;张蛟;徐国军;兰邦银 | 申请（专利权）人： | 宣城开盛新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23F1/44 |
| 代理公司： | 合肥东信智谷知识产权代理事务所(普通合伙) 34143 | 代理人： | 王燕 |
| 地址： | 242000 安徽省宣城市经济技术*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铜铟镓靶材背衬管 回收 利用 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种铜铟镓靶材背衬管回收利用方法，其特征在于，包括以下步骤：
a通过机加工的方式将残靶上的铜铟镓涂层进行剥离，使得残靶上余留的铜铟镓涂层的厚度＜0.2mm；
b将机加工后的背衬管进行酸洗，直到残靶上余留的铜铟镓全部溶解；
c对酸洗完后的背衬管用去离子水进行清洗，以去除表面残留的酸溶液，然后干燥；
d对清洗及干燥完的背衬管进行粗化，粗化后背衬管表面的粗糙度≥7μm；
e对粗化完后的背衬管用高压水枪进行清洗，以去除背衬管上残留的砂粒；
f对清洗完的背衬管进行塑料膜抽真空包装。
2.根据权利要求1所述的一种铜铟镓靶材背衬管回收利用方法，其特征在于：步骤a中，通过车床将残靶上的铜铟镓涂层进行剥离。
3.根据权利要求1所述的一种铜铟镓靶材背衬管回收利用方法，其特征在于：步骤b中，采用浓度为50％-70％的硝酸溶液对背衬管进行酸洗。
4.根据权利要求1所述的一种铜铟镓靶材背衬管回收利用方法，其特征在于：步骤d中，采用喷砂的方式对背衬管进行粗化处理，喷砂材料采用氧化铝和碳化硅中的一种。
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