[发明专利]盒盖打开装置

权利要求书

1.一种用于洁净室设备的盒盖打开装置(12)，所述洁净室设备配置为与晶片盒(80)配合，其中，所述晶片盒(80)包括盒体(82)，所述盒体(82)限定用于容纳晶片的盒内部(88)并具有可通过盒盖(84)关闭的盒开口(86)，其中，所述盒盖打开装置(12)包括：

-具有分隔壁(16)的壁结构(14)，所述分隔壁(16)具有限定第一空间(22)的第一侧面(18)并且具有限定第二空间(24)的相对的第二侧面(20)，所述分隔壁(16)具有用于通过其传送晶片的壁开口(26)；

-布置在壁结构(14)的第一侧面(18)的盒对接端口(28)，所述盒对接端口(28)用于对接容纳在所述第一空间(22)中的晶片盒；以及

-设置到壁结构(14)的盖操纵器(30)，所述盖操纵器(30)可相对于壁开口(26)移动并且配置成接合对接在所述盒对接端口(28)中的晶片盒(80)的盒盖(84)，所述盖操纵器(30)具有关闭位置和打开位置，在所述关闭位置，被接合的盒盖(84)关闭盒体(82)，在所述打开位置，被接合的盒盖(84)与盒体(82)间隔开，

所述盒盖打开装置(12)还包括鼓风机(36)，所述鼓风机(36)具有细长的狭缝状喷嘴(38)，所述喷嘴(38)大致跨越所述壁开口(26)的高度或宽度并且配置成将净化气体的帘状射流(40)在所述第一空间(22)到所述盒内部(88)的方向上从分隔壁(16)吹出。

2.根据权利要求1所述的盒盖打开装置，其中，所述鼓风机(36)被构造和布置成可沿所述盒开口(86)的大致整个宽度或高度移动，并且配置成吹入所述盒内部(88)。

3.根据权利要求1或2所述的盒盖打开装置，其中，所述盖操作器(30)构成为使被接合的盒盖(84)平行于分隔壁(16)横向地移动，并且其中，所述鼓风机(36)被连接到盖操纵器(30)并被配置成吹过被接合的盒盖(84)到盒内部(88)中。

4.根据前述权利要求中任一项所述的盒盖打开装置，其中，所述鼓风机(36)包括凸表面(42)，并且其中，所述细长的狭缝状喷嘴(38)配置成将所述射流(40)吹到所述凸表面(42)之上。

5.根据权利要求4所述的盒盖打开装置，还设置有第二净化气体源(44)，所述第二净化气体源(44)在所述凸表面(42)的周围供应第二净化气体，使得由于康达效应，至少一部分所供应的第二净化气体被吹到所述凸表面(42)之上的净化气体的射流40夹带。

6.根据前述权利要求中任一项所述的盒盖打开装置，其中，所述鼓风机(36)配置成吹动净化气体的帘状射流(40)横跨所述盒体(82)的大致整个深度。

7.根据前述权利要求中的任一项所述的盒盖打开装置，其中，所述壁结构(14)包括排气端口(46)，所述排气端口(46)配置成当所述盖操纵器(30)从所述关闭位置移动到所述打开位置或处于所述打开位置时从所述盒内部(88)移除气体。

8.根据权利要求7所述的盒盖打开装置，其中，所述排气端口(46)包括文丘里管。

9.根据前述权利要求中任一项所述的盒盖打开装置，还包括：

-门(48)，其被配置成关闭所述分隔壁(16)中的所述壁开口(26)并且相对于所述壁开口(26)可移动；

-门操纵器(50)，其连接到所述门(48)并配置为将所述门(48)移动到：

·关闭位置，在所述关闭位置，所述门(48)关闭所述壁开口(26)；和

·打开位置，在所述打开位置，所述门从所述壁开口(26)横向移开。

10.根据权利要求9所述的盒盖打开装置，其中，所述门操纵器(50)连接到所述盖操纵器(30)，从而一起横向移动。

11.根据前述权利要求中任一项所述的盒盖打开装置，其中，所述第二空间(24)是所述洁净室设备的小型环境。