[发明专利]一种大长径比旋转管靶材喷砂设备

说明书

本发明公开了一种大长径比旋转管靶材喷砂设备，包括工字型支架和脚支架，工字型支架包括上管靶固定盖和下管靶固定盖，旋转管靶材的中部套接有橡胶夹套，上管靶固定盖和下管靶固定盖的左右两侧各设置有两个定位圆盘，且下管靶固定盖和定位圆盘为一体式设计，通过定位圆盘的运动带动下管靶固定盖的运动，实现旋转管靶材在竖直方向的自由旋转；旋转管靶材的两端各设置有两个喷砂挡板，位于旋转管靶材端面处的喷砂挡板上均设置有吊耳，脚支架通过吊绳与吊耳的配合实现对旋转管靶材的升降和搬运。本发明结合工字型支架和脚支架作为管靶喷砂，可使管靶材在竖直方向自由旋转，精准喷砂，解决了大长径比管靶喷砂占地空间大，喷砂角度受限等问题。

技术领域

本发明属于溅射技术领域，尤其涉及一种大长径比旋转管靶材喷砂设备。

背景技术

高纯金属溅射靶材是高端集成电路产业的关键支撑材料之一，溅射靶材主要分为旋转靶材和平面靶材。与平面溅射靶材相比，旋转靶材溅射镀膜连续性好、镀膜成分均匀、利用率大约为平面溅射靶材的2倍,特别是在8.5代线之后，大长径比旋转靶材逐渐代替平面靶材。因此，开展大长径比旋转靶材的加工制造具有比较大的优势。

大长径比旋转管靶材的表面处理工艺主要是喷砂，喷砂的目的是吸附溅射过程的杂质粒子，防止沉积在溅射薄膜上降低薄膜质量。但是，由于大长径比旋转管靶材重量大，长度长，在产线作业时，存在大尺寸旋转管靶材搬运困难、占地空间大、喷砂方向角度受限等问题，导致产线作业效率低。

发明内容

为了克服现有技术存在的一系列缺陷，本发明的目的在于针对上述问题，提供一种大长径比旋转管靶材喷砂设备，包括工字型支架9、定位圆盘6、上管靶固定盖3、下管靶固定盖2和旋转管靶材1，其特征在于，工字型支架9用于支撑定位圆盘6；上管靶固定盖3和下管靶固定盖2的左右两侧各设置有两个定位圆盘6，且下管靶固定盖2和定位圆盘6为一体式设计，通过定位圆盘6的运动带动下管靶固定盖2的运动，实现旋转管靶材1在竖直方向的自由旋转；旋转管靶材1固定于上管靶固定盖3与下管靶固定盖2之间。

优选的，旋转管靶材1的中部套接有橡胶夹套5，旋转管靶材1通过将橡胶夹套5固定于上管靶固定盖3与下管靶固定盖2之间，实现其与工字型支架9的固定连接。

优选的，旋转管靶材1的两端各设置有两个喷砂挡板4，处于同一端的两个喷砂挡板4分别位于旋转管靶材1的端面和法兰端面处，位于旋转管靶材1端面处的喷砂挡板4上均设置有吊耳13，脚支架15通过吊绳16与吊耳13的配合实现对旋转管靶材1的升降和搬运。

优选的，上管靶固定盖3和下管靶固定盖2的翼部表面均匀分布有圆孔，上管靶固定盖3和下管靶固定盖2之间通过双头螺栓与圆孔的配合进行紧固连接。

优选的，定位圆盘6内部采用加强筋结构，定位圆盘6的表面均匀分布有通孔，通过通孔与定位销14的配合对同一侧的定位圆盘6进行紧固。

优选的，处于同一侧的定位圆盘6通过连接杆8连接，且连接杆8通过轴承7支撑安装在工字型支架9上。

优选的，工字型支架9一侧设置有第一电机10，第一电机10和定位圆盘6通过皮带连接，第一电机10通过皮带带动定位圆盘6运动。

优选的，还包括靶材提升机构，该机构包括脚支架15，其上部设置有定滑轮17、底部设置第二电机18，吊绳16用于提升所述靶材，穿过定滑轮17与第二电机18连接。

优选的，工字型支架9与脚支架15的底端外壁均阵列分布有四个滑轮12。

与现有技术相比，本发明具备以下有益效果：

1)本发明的一种大长径比旋转管靶材喷砂设备，利用下管靶固定盖和定位圆盘一体化的设计，旋转管靶材在竖直方向可任意旋转，不仅节约了水平方向的空间，提高了产线作业效率，而且可以方便灵活地旋转至任一角度，精准喷砂，不存在喷砂死角现象；