[发明专利]一种防止金属污染的HF-PECVD法制石墨烯装置

权利要求书

1.一种防止金属污染的HF-PECVD法制石墨烯装置，包括机体以及设置于所述机体中的热丝管，其特征在于：所述热丝管中设有两个电极块，所述电极块之间连接有钨丝，所述热丝管左端设有与外界连通的进气口,所述机体中设有位于所述热丝管右侧的石墨烯腔，所述热丝管右端和所述石墨烯腔相连通，所述石墨烯腔右壁上设有与外界连通的出口，所述机体中设有位于所述石墨烯腔右侧的处理腔，所述处理腔左端设有与外界连通的入口，所述石墨烯腔中设有右端延伸至所述处理腔中第一滑槽，所述第一滑槽上滑动设有加热板，所述加热板上设有金属衬底，所述机体中设有位于所述处理腔右侧的传动腔，所述传动腔中设有开门机构，所述开门机构可以控制所述出口和所述入口的开关，所述传动腔右壁上设有电机，所述电机轴左端动力连接有电机轴，所述电机轴上固定设有第一齿轮，所述传动腔中设有夹取机构，所述夹取机构可以夹取金属衬底并将其运到所述处理腔中，所述传动腔中转动设有齿轮轴，所述齿轮轴上固定设有和所述第一齿轮啮合的第二齿轮，所述齿轮轴上固定设有第三齿轮，所述齿轮轴上固定设有第一锥齿轮，所述传动腔中转动设有线轮轴，所述线轮轴上固定设有和所述第三齿轮啮合的第四齿轮，所述线轮轴上固定设有第一线轮，所述机体中设有位于所述热丝管上侧的回收腔，所述回收腔和所述处理腔之间通过碘化钨管连通，所述回收腔底壁上设有第一滑槽，所述第一滑槽上滑动设有第一磁铁，所述第一磁铁和所述第一线轮之间连接有第一拉线，所述第一磁铁和所述回收腔上壁之间连接有第一弹簧，所述回收腔中设有挤压管，所述挤压管中设有固定板，所述固定板和所述挤压管上端连接有第二弹簧，所述固定板下端设有第二磁铁，所述回收腔中设有第二滑槽，所述第二滑槽上滑动设有负重块，所述机体中设有位于所述处理腔前侧的碘蒸汽腔，所述碘蒸汽腔上端和所述挤压管之间设有排气管，所述排气管中设有阀门，所述碘蒸汽腔下端和所述回收腔之间设有排碘管，所述碘蒸汽腔中设有第三滑槽，所述第三滑槽上滑动设有推板，所述推板和所述碘蒸汽腔顶壁之间连接有第三弹簧，所述碘蒸汽腔和所述处理腔之间设有碘蒸汽管，所述碘蒸汽管和所述排碘管中设有气压阀。

2.根据权利要求1所述的一种防止金属污染的HF-PECVD法制石墨烯装置，其特征在于：所述机体左侧设有电动滑轨，所述电动滑轨上滑动设有第一滑块，所述第一滑块可以控制所述进气口的开关。

3.根据权利要求1所述的一种防止金属污染的HF-PECVD法制石墨烯装置，其特征在于：所述开门机构包括转动设置于所述传动腔中的锥齿轮轴，所述传动腔前后壁之间转动设有锥齿轮轴，所述锥齿轮轴上固定设有和所述第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮，所述锥齿轮轴上固定设有第二线轮，所述处理腔和所述石墨烯腔之间设有第四滑槽，所述第四滑槽上滑动设有铁门，所述第二线轮和所述铁门之间连接有第二拉线。

4.根据权利要求1所述的一种防止金属污染的HF-PECVD法制石墨烯装置，其特征在于：所述夹取机构包括设置于所述传动腔中的螺纹槽，所述螺纹槽上转动设有螺纹杆，所述螺纹杆上固定设有和所述第一齿轮啮合的长齿轮，所述处理腔中设有第五滑槽，所述第五滑槽上滑动设有第二滑块，所述第二滑块和所述第五滑槽之间连接有第三弹簧，所述第二滑块左端设有夹块，所述夹块和所述第二滑块通过铰连接轴连接。