[发明专利]一种真空除尘过滤器

说明书

本发明提供一种真空除尘过滤器，包括上罐、过滤装置、排灰罐和支撑装置，过滤装置安装于上罐内，排灰罐通过连接管连通于上罐下方，上罐包括罐体和上盖，上盖可拆卸连接于罐体上端，上盖顶端连通出气管，罐体下部连通有进气管，罐体内的下部固定有落灰筒，落灰筒包括相互连接的上部的锥形筒和下部的柱形筒，柱形筒伸入到连接管内，锥形筒和罐体之间以及柱形筒和连接管之间形成的间隙形成过风通道，排灰罐的一侧安装有震动击打装置。相对于现有技术，本发明所述的一种真空除尘过滤器，具有以下有益效果：对气体充分过滤，高效安全除尘，保证装置的气密性，有效清除残留在罐体连接部位的灰尘防止各环节阻塞。

技术领域

本发明属于过滤器技术领域，尤其是涉及一种真空除尘过滤器。

背景技术

在单晶硅的生产过程中需要纯度较高的氮气作为保护气体，生产过程中，单晶硅与过滤器与真空泵依次相连，生产过程中均在氮气负压状态下工作，生产中会汇入较多的粉尘类杂质，影响真空泵的使用寿命以及氮气的提纯，故而需要一种高效的过滤装置来对粉尘进行有效过滤，并且在生产完毕后清灰过程中会产生含磷杂质的燃烧因此存在安全隐患，因此我们选用耐高温的PDFE材质滤袋进行过滤。

发明内容

有鉴于此，本发明旨在提出一种真空除尘过滤器，能够解决上述问题。

为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：

一种真空除尘过滤器，包括上罐、过滤装置、排灰罐和支撑装置，过滤装置安装于上罐内，排灰罐通过连接管连通于上罐下方，支撑装置设于排灰罐下方支撑整个过滤器，上罐包括罐体和上盖，上盖可拆卸连接于罐体上端，上盖顶端连通出气管，罐体下部连通有进气管，罐体内的下部固定有落灰筒，落灰筒包括相互连接的上部的锥形筒和下部的柱形筒，柱形筒伸入到连接管内，锥形筒和罐体之间以及柱形筒和连接管之间形成的间隙形成过风通道，锥形筒为上宽下窄设置，锥形筒的上端固定于底板，底板的边缘密封固定在上罐内壁，柱形筒伸入到连接管内，排灰罐的一侧安装有震动击打装置。

进一步，所述过滤装置包括击打器、滤袋、定板、动板、弹簧牵拉装置、导柱和限位杆，定板通过若干个导柱固定在底板上，动板套在若干个导柱上，动板、定板和底板之间相互平行，滤袋设有若干个，连接于动板和底板之间，底板上在设有滤袋的位置开有落灰口，滤袋下端边缘与落灰口之间密封连接，击打器设有若干个，均安装在定板上端，击打器的击打头竖直向下贯穿定板，击打头击打动板使动板沿着导柱竖直移动，弹簧牵拉装置设有若干个，均布连接于定板和动板之间，定板下端固定有若干个限位杆，限位杆的下端由于弹簧牵拉装置的牵拉而抵接于动板，动板的竖直移动带动滤袋的伸缩。

进一步，所述滤袋上端固定有盖碗，弹簧牵拉装置的下端连接盖碗。

进一步，每个弹簧牵拉装置包括螺栓、连接头、弹簧和固定杆，固定杆固定在定板下端，连接头呈T形结构，包括水平的环状的压板和竖直的插管，插管贯穿盖碗后伸入到滤袋内，压板位于动板上端限位，螺栓从连接头内自下而上依次贯穿盖碗和动板并伸出连接头，弹簧连接于螺栓上端和固定杆之间。

进一步，所述罐体和进气管之间连通有应急过滤管道，应急过滤管道上连接有手动阀门，应急过滤管道和罐体的连接处连接有气体辅助过滤装置。

进一步，所述锥形筒和罐体之间的过风通道和排灰罐之间连通有辅助管道，辅助管道的出风口位于柱形筒下方。

进一步，所述出气管的侧壁设有观察窗。

进一步，所述罐体的一侧铰接有可伸缩的爬梯。

进一步，所述应急过滤管道上连接有泄压阀，气体辅助过滤装置的一侧连接有压力表。

进一步，所述支撑装置包括支撑座和轮子，轮子设于支撑座下端，支撑座固定在排灰罐下端。