[发明专利]形状测定装置和形状测定方法

权利要求书

1.一种形状测定装置，对测定对象的形状进行测定，所述测定对象具备形状已知的多个已知形状部，所述已知形状部隔着形状未知的未知形状部周期性地配置，所述形状测定装置具备：

仿形测头，其具有能够接触所述测定对象的触头；

移动机构，其使所述仿形测头移动；

自主仿形测定部，其控制所述移动机构来对所述测定对象实施自主仿形测定，所述自主仿形测定是一边使所述仿形测头以规定的压入量推压所述测定对象一边使所述仿形测头沿着所述测定对象移动来测定所述测定对象的形状；

测定路径计算部，其计算所述仿形测头在对所述测定对象进行仿形测定时的移动路径；以及

设计值仿形测定部，其控制所述移动机构来实施设计值仿形测定，所述设计值仿形测定是使所述仿形测头沿着所述移动路径移动来测定所述测定对象的形状，

其中，所述测定路径计算部基于由所述自主仿形测定部测定出的所述未知形状部的测定结果和所述已知形状部的设计数据，来计算针对所述测定对象的所述移动路径。

2.根据权利要求1所述的形状测定装置，其特征在于，

所述自主仿形测定部对一个所述未知形状部实施所述自主仿形测定，

所述测定路径计算部基于针对一个所述未知形状部的所述测定结果和所述已知形状部的所述设计数据，来计算所述移动路径。

3.一种形状测定装置，对测定对象的形状进行测定，所述测定对象具备形状已知的多个已知形状部，所述已知形状部隔着形状未知的未知形状部周期性地配置，所述形状测定装置具备：

仿形测头，其具有能够接触所述测定对象的触头；

移动机构，其使所述仿形测头移动；

自主仿形测定部，其控制所述移动机构来对所述测定对象实施自主仿形测定，所述自主仿形测定是一边使所述仿形测头以规定的压入量推压所述测定对象一边使所述仿形测头沿着所述测定对象移动来测定所述测定对象的形状；

测定路径计算部，其计算所述仿形测头在对所述测定对象进行仿形测定时的移动路径；以及

设计值仿形测定部，其控制所述移动机构来实施设计值仿形测定，所述设计值仿形测定是使所述仿形测头沿着所述移动路径移动来测定所述测定对象的形状，

其中，所述测定路径计算部基于由所述自主仿形测定部测定出的针对所述已知形状部及所述未知形状部的组合的测定结果，来计算针对所述测定对象的所述移动路径。

4.根据权利要求3所述的形状测定装置，其特征在于，

所述自主仿形测定部对一组所述未知形状部及所述已知形状部的组合实施所述自主仿形测定，

所述测定路径计算部基于针对一组所述未知形状部及所述已知形状部的组合的所述测定结果，来计算所述移动路径。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的形状测定装置，其特征在于，

在沿着所述移动路径进行的测定中，在所述仿形测头的压入量处于规定的容许范围外的情况下，所述设计值仿形测定部输出测定错误信号，

在输出了所述测定错误信号时，所述自主仿形测定部再次实施所述自主仿形测定。

6.一种形状测定方法，使用形状测定装置对测定对象的形状进行测定，所述形状测定装置具备具有能够接触所述测定对象的触头的仿形测头和使所述仿形测头移动的移动机构，所述测定对象具备形状已知的多个已知形状部，所述已知形状部隔着形状未知的未知形状部周期性地配置，所述形状测定方法的特征在于，实施以下步骤：

自主仿形测定步骤，控制所述移动机构来对所述测定对象实施自主仿形测定，所述自主仿形测定是一边使所述仿形测头以规定的压入量推压所述测定对象一边使所述仿形测头沿着所述测定对象移动来测定所述测定对象的形状；

路径运算步骤，运算所述仿形测头在对所述测定对象进行仿形测定时的移动路径；以及

设计值仿形测定步骤，控制所述移动机构来实施设计值仿形测定，所述设计值仿形测定是使所述仿形测头沿着所述移动路径移动来测定所述测定对象的形状，

其中，在所述路径运算步骤中，基于通过所述自主仿形测定步骤测定出的所述未知形状部的测定结果和所述已知形状部的设计数据，来计算针对所述测定对象的所述移动路径。

7.一种形状测定方法，使用形状测定装置对测定对象的形状进行测定，所述形状测定装置具备具有能够接触所述测定对象的触头的仿形测头和使所述仿形测头移动的移动机构，所述测定对象具备形状已知的多个已知形状部，所述已知形状部隔着形状未知的未知形状部周期性地配置，所述形状测定方法实施以下步骤：

自主仿形测定步骤，控制所述移动机构来对所述测定对象实施自主仿形测定，所述自主仿形测定是一边使所述仿形测头以规定的压入量推压所述测定对象一边使所述仿形测头沿着所述测定对象移动来测定所述测定对象的形状；

路径运算步骤，运算所述仿形测头在对所述测定对象进行仿形测定时的移动路径；以及

设计值仿形测定步骤，控制所述移动机构来实施设计值仿形测定，所述设计值仿形测定是使所述仿形测头沿着所述移动路径移动来测定所述测定对象的形状，

其中，在所述路径运算步骤中，基于通过所述自主仿形测定步骤测定出的针对所述已知形状部及所述未知形状部的组合的测定结果，来计算针对所述测定对象的所述移动路径。