[发明专利]激光稳源系统与激光源模块在审
申请号: | 202010744994.3 | 申请日: | 2020-07-29 |
公开(公告)号: | CN114069374A | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
发明(设计)人: | 刘建圣;张育豪;蔡志豪 | 申请(专利权)人: | 刘建圣 |
主分类号: | H01S3/08 | 分类号: | H01S3/08;H01S3/081;H01S3/086 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 黄隶凡 |
地址: | 中国台湾*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 系统 模块 | ||
1.一种激光稳源系统,其特征在于,用以使激光源所发出的激光束维持稳定,所述激光稳源系统包括:
光束操控元件,配置于所述激光束的路径上,且用以对所述激光束的方向与位置作4个自由度以上的操控;
第一分光器,配置于来自所述光束操控元件的所述激光束的路径上,且用以将所述激光束分成第一部分光束与第二部分光束;
第一光侦测器,配置于所述第一部分光束的传递路径上;
第二分光器,配置于所述第二部分光束的传递路径上,且用以将所述第二部分光束分成第三部分光束与第四部分光束;以及
第二光侦测器,配置于所述第三部分光束的传递路径上。
2.根据权利要求1所述的激光稳源系统,其特征在于,所述光束操控元件包括:
第一棱镜,具有第一倾斜反射面;以及
第二棱镜,具有第二倾斜反射面,其中所述激光束依序被所述第一倾斜反射面与所述第二倾斜反射面反射,所述第一倾斜反射面平行于第一轴向,所述第二倾斜反射面平行于第二轴向,所述第一倾斜反射面相对于所述激光束入射其的方向倾斜,且所述第二倾斜反射面相对于所述激光束从其出射的方向倾斜。
3.根据权利要求2所述的激光稳源系统,其特征在于,所述第一轴向与所述第二轴向彼此垂直。
4.根据权利要求2所述的激光稳源系统,其特征在于,所述光束操控元件还包括马达,且所述第一棱镜与所述第二棱镜配置于所述马达中,以受所述马达控制方向与位置。
5.根据权利要求4所述的激光稳源系统,其特征在于,所述第一棱镜与所述第二棱镜是配置于单一的所述马达中,且所述单一的马达为能够控制4个自由度以上的马达。
6.根据权利要求2所述的激光稳源系统,其特征在于,所述第一棱镜还具有第三倾斜反射面,相对所述第一倾斜反射面倾斜,且平行于所述第一轴向,所述第二棱镜还具有第四倾斜反射面,相对于所述第二倾斜反射面倾斜,且平行于所述第二轴向,其中所述激光束依序被所述第一倾斜反射面、所述第三倾斜反射面、所述第二倾斜反射面及所述第四倾斜反射面反射,所述第三倾斜反射面相对于所述激光束入射其的方向倾斜,且所述第四倾斜反射面相对于所述激光束从其出射的方向倾斜。
7.根据权利要求2所述的激光稳源系统,其特征在于,所述光束操控元件还包括扩散片,配置于所述激光束的路径上,位于所述第一棱镜与所述第二棱镜的一侧,且用以扩散所述激光束。
8.根据权利要求7所述的激光稳源系统,其特征在于,所述光束操控元件还包括马达,所述第一棱镜与所述第二棱镜配置于所述马达中,以受所述马达控制方向与位置,且所述扩散片连接至所述马达,所述马达驱动所述扩散片旋转。
9.根据权利要求1所述的激光稳源系统,其特征在于,还包括控制器,电性连接至所述第一光侦测器、所述第二光侦测器及所述光束操控元件,且用以根据所述第一光侦测器测量到的所述第一部分光束在其上所形成的光点位置与所述第二光侦测器测量到的第三部分光束在其上所形成的光点位置,而计算出所述激光束所需补偿的角度与位置,并传递控制讯号至所述光束操控元件以使所述光束操控元件补偿所述激光束的所述角度与所述位置。
10.根据权利要求9所述的激光稳源系统,其特征在于,所述第一光侦测器与所述第二光侦测器皆为影像传感器。
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