[发明专利]一种干膜生产用曝光机在审
申请号: | 202010747925.8 | 申请日: | 2020-07-30 |
公开(公告)号: | CN111948914A | 公开(公告)日: | 2020-11-17 |
发明(设计)人: | 卓金明 | 申请(专利权)人: | 苏州康迪科光电新材料有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 上海创开专利代理事务所(普通合伙) 31374 | 代理人: | 汪发成 |
地址: | 215300 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 生产 曝光 | ||
1.一种干膜生产用曝光机,包括壳体(1),其特征在于,所述壳体(1)的内部依次开设有设备腔(2)、曝光腔(3)、蓄水腔(4)、驱动腔(5)和冷却腔(6),所述曝光腔(3)的内部安装有多个曝光灯管(7),所述曝光灯管(7)的上方设有横向设置的玻璃载台(8),所述玻璃载台(8)固定在曝光腔(3)的内部,所述设备腔(2)底部的内壁固定有竖向设置的设备主体(9),所述壳体(1)的顶部通过铰链分别铰接有两扇活动门(10),两扇所述活动门(10)分别与设备腔(2)和曝光腔(3)相对应,所述驱动腔(5)底部的内壁固定有水泵(11),所述水泵(11)的输入端连接有输入管(12),所述输入管(12)远离水泵(11)的一端延伸至蓄水腔(4)的内部,所述水泵(11)的输出端连接有输出管(13),所述输出管(13)远离水泵(11)的一端依次经过冷却腔(6)、曝光腔(3)和设备腔(2),并且延伸至蓄水腔(4)的内部,所述壳体(1)的右侧设有散热机构。
2.根据权利要求1所述的一种干膜生产用曝光机,其特征在于,位于冷却腔(6)、曝光腔(3)和设备腔(2)内部的输出管(13)分别盘绕在冷却腔(6)、曝光腔(3)和设备腔(2)的内部,并且呈S形结构。
3.根据权利要求1所述的一种干膜生产用曝光机,其特征在于,所述冷却腔(6)的内部沿横向设有多个竖向设置的转轴(14),所述转轴(14)的两端通过轴承分别转动连接在冷却腔(6)两端的内壁上,所述转轴(14)顶部的外壁均固定套接有扇叶(15),所述驱动腔(5)左侧的内壁固定有驱动电机(16),所述驱动电机(16)的输出端传动连接有横向设置的蜗杆(17),所述蜗杆(17)远离驱动电机(16)的一端通过轴承转动连接在冷却腔(6)右端的内壁上,所述转轴(14)底部的外壁均固定套接有蜗轮(18),所述蜗杆(17)与蜗轮(18)啮合配合工作,所位于冷却腔(6)内部的输出管(13)固定有多个电磁阀(19),所述电磁阀(19)的输出端安装有喷头,喷头的输出端与扇叶(15)相对应,所述曝光腔(3)和冷却腔(6)之间的内壁开设有多个通风孔(20)。
4.根据权利要求1所述的一种干膜生产用曝光机,其特征在于,所述散热机构包括安装槽(21)、散热窗(22)、连接块(23)、挡块(24)、转槽(25)、容纳槽(26)和推动弹簧(27),所述安装槽(21)开设在壳体(1)的右侧,并且与曝光腔(3)相对应,所述散热窗(22)活动连接在安装槽(21)的内部,所述连接块(23)位于散热窗(22)的两端,并且分别固定在壳体(1)上,所述挡块(24)位于散热窗(22)的两端,并且与散热窗(22)相接触,所述转槽(25)开设在挡块(24)的顶部,所述连接块(23)转动连接在转槽(25)的内部,所述连接块(23)为T形结构,所述连接块(23)端部的直径大于转槽(25)的孔径,所述安装槽(21)为凸形槽,所述容纳槽(26)开设在安装槽(21)两端的内壁上,所述推动弹簧(27)固定在容纳槽(26)的内壁上,所述推动弹簧(27)的另一端与散热窗(22)相接触。
5.根据权利要求1所述的一种干膜生产用曝光机,其特征在于,所述壳体(1)左侧的底部安装有输水阀(28),所述输水阀(28)与蓄水腔(4)相对应。
6.根据权利要求1所述的一种干膜生产用曝光机,其特征在于,所述壳体(1)外部的一侧通过铰链铰接有检修门(29),所述检修门(29)与设备腔(2)和曝光腔(3)相对应。
7.根据权利要求3所述的一种干膜生产用曝光机,其特征在于,所述驱动腔(5)和冷却腔(6)之间的内壁开设有联接槽,所述蜗杆(17)转动连接在联接槽的内部。
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