[发明专利]一种洁净的石墨烯及其制备工艺在审
申请号: | 202010748134.7 | 申请日: | 2020-07-30 |
公开(公告)号: | CN111825084A | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 杨杰 | 申请(专利权)人: | 德州智南针机械科技有限公司 |
主分类号: | C01B32/186 | 分类号: | C01B32/186;C01B32/194 |
代理公司: | 德州沃杰知识产权代理事务所(普通合伙) 37296 | 代理人: | 孙玉全;程成 |
地址: | 253000 山东省德州市经济技术开发区袁桥镇东方红东*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 洁净 石墨 及其 制备 工艺 | ||
本发明涉及石墨烯制备技术领域,公开了一种洁净的石墨烯及其制备工艺,工艺步骤为:先在铜基底上形成一层过渡金属薄膜,并通入碳源气体和氢气,进行化学气相沉积,沉积完成后,在过渡金属膜与铜基底之间形成石墨烯;再将铜基底和过渡金属膜经过酸液腐蚀,去除过渡金属膜;将铜基底与石墨烯取出,将活性炭粘合物涂覆于石墨烯表面,置于加热板上,使活性炭粘合物固化于石墨烯表面,然后剥离石墨烯表面的活性炭粘合物,即可制得洁净石墨烯。本制备工艺可以去除石墨烯产物中所残留的金属元素以及杂质,降低石墨烯与金属电极之间的接触电阻,提高石墨烯的热导率和纯度,使得石墨烯的纯度和洁净度均在99%以上,且成本低,制备效率高。
技术领域
本发明涉及石墨烯制备技术领域,具体是一种洁净的石墨烯及其制备工艺。
背景技术
石墨烯是一种由碳原子以sp2杂化轨道组成六角型呈蜂巢晶格的二维碳纳米材料,石墨烯具有优异的光学、电学、力学特性,在材料学、微纳加工、能源、生物医学和药物传递等方面具有重要的应用前景,被认为是一种未来革命性的材料。
石墨烯的发展离不开稳定的制备工艺,石墨烯常见的制备方法有机械剥离法、氧化还原法、外延生长法和化学气相沉积法,机械剥离法得到的石墨烯畴区尺寸较小,只能用于实验室应用,氧化还原法会不可避免地残留有机官能团,石墨烯的缺陷较多,外延生长法对于生长条件和基底的要求较高,石墨烯的制备成本高昂,因此,相比于其他制备方法,化学气相沉积法则是制备石墨烯的理想方法,同时也是实现石墨烯工业化大规模的生产,的有效途径。
但是在化学气相沉积方法制备石墨烯中,石墨烯表面往往会分布有污染物、杂质或者残留的金属元素,虽然随着技术的进步,针对这一问题得到了改善,但是效果还是不够理想。因此,本领域技术人员提供了一种洁净的石墨烯及其制备工艺,以解决上述背景技术中提出的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种洁净的石墨烯及其制备工艺,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种洁净的石墨烯的制备工艺,该工艺为以下步骤:
S1、先在铜基底上形成一层过渡金属薄膜,并通入碳源气体和氢气,进行化学气相沉积,沉积完成后,在过渡金属膜与铜基底之间形成石墨烯;
S2、将上述的铜基底以及过渡金属膜经过酸液腐蚀,去除过渡金属膜;
S3、经过腐蚀后,将铜基底与石墨烯取出,再将活性炭粘合物涂覆于石墨烯表面,置于加热板上,使活性炭粘合物固化于石墨烯表面,然后剥离石墨烯表面的活性炭粘合物,即可制得洁净石墨烯。
作为本发明进一步的方案:所述S1中沉积过程在氩气保护空间内进行,其中氩气气体的流量为100sccm-200sccm,沉积的压强为30Pa-500Pa。
作为本发明再进一步的方案:所述S1中过渡金属为Cu、Co、Pt和Ni中的一种,过渡金属薄膜的膜厚为30-150μm。
作为本发明再进一步的方案:所述铜基底为单晶铜片、多晶铜片或铜箔中的一种,且铜基底的厚度为10-100μm。
作为本发明再进一步的方案:所述S1中碳源气体为甲烷、乙烷或乙烯,所述碳源气体的流量为0.1sccm-5sccm,所述氢气的流量为100sccm-700sccm,所述化学气相沉积的温度在700-1000℃,时间大于0.5min。
作为本发明再进一步的方案:所述S2中的酸液为三氯化铁或浓硫酸。
作为本发明再进一步的方案:所述活性炭粘合物包括:活性炭粉末、粘结剂、溶剂、增稠剂,其质量比为:5-15:3-7:1-3:3-5,其制备方法为:将活性炭粉末和粘结剂放入搅拌罐中进行均匀搅拌,期间加入溶剂和增稠剂,均匀搅拌15-30min,温度控制在50-80℃,即可制得粘稠状活性炭粘合物。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于德州智南针机械科技有限公司,未经德州智南针机械科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010748134.7/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种从硅渣中浮选硅的方法
- 下一篇:一种外用药贴打膏装置