[发明专利]一种三坐标测量机接触式探头

权利要求书

1.一种三坐标测量机接触式探头，包括探头外壳(1)，其特征在于：所述探头外壳(1)底部设有测量机构(2)和测球(3)，且测球(3)位于测量机构(2)底部，所述测量机构(2)包括连接杆(21)、连接片(22)和传感器靶片(23)，所述传感器靶片(23)活动连接于连接杆(21)与连接片(22)之间，所述连接杆(21)与测球(3)之间固定连接，所述连接片(22)远离传感器靶片(23)的一端固定设有固定片(24)，且固定片(24)与探头外壳(1)底部固定连接，所述传感器靶片(23)顶部固定设有电容传感器(4)。

2.根据权利要求1所述的一种三坐标测量机接触式探头，其特征在于：所述测量机构(2)以测球(3)为中心环绕设置八组，且测球(3)通过测量机构(2)悬浮设置。

3.根据权利要求1所述的一种三坐标测量机接触式探头，其特征在于：所述连接杆(21)的材质为碳化钨，且八组连接杆(21)呈米字形设置。

4.根据权利要求1所述的一种三坐标测量机接触式探头，其特征在于：所述连接片(22)的材质为铍氰铜，且连接片(22)为弹性元件。

5.根据权利要求1所述的一种三坐标测量机接触式探头，其特征在于：所述测球(3)底部带有测杆，且测杆的材质为不锈钢。

6.根据权利要求1所述的一种三坐标测量机接触式探头，其特征在于：所述电容传感器(4)对应传感器靶片(23)设置八组，且电容传感器(4)的精度为3nm。