[发明专利]一种多边形孔等离子体发生装置及发生方法

权利要求书

1.一种多边形孔等离子体发生装置，其特征在于，自上而下包括依次紧密贴合的上电极板、介质板、下电极板；

所述介质板包括矩形绝缘薄板(1)，所述矩形绝缘薄板(1)上均匀开设多个尺寸一致的正多边形的通孔a(2)，所述矩形绝缘薄板(1)上表面位于每个通孔a(2)的边缘连接与通孔a(2)形状一致的凸台(3)，每个所述凸台(3)配合连接上电极板；

所述上电极板包括上矩形金属板薄板(4)，每个所述上矩形金属板薄板(4)上开设与凸台(3)外壁形状、尺寸一致的通孔b(5)，每个所述通孔b(5)内嵌接一个凸台(3)；

所述下电极板包括下矩形金属板薄板(6)，每个下矩形金属板薄板(6)上开设形状与通孔a(2)相同，且尺寸不小于通孔a(2)的通孔c(7)。

2.根据权利要求1所述一种多边形孔等离子体发生装置，其特征在于，所述矩形绝缘薄板(1)的长度、宽度均大于上矩形金属板薄板(4)和下矩形金属板薄板(6)的长度、宽度。

3.根据权利要求1所述一种多边形孔等离子体发生装置，其特征在于，所述矩形绝缘薄板(1)下表面边缘连接环状突起(8)，所述环状突起(8)内侧与下矩形金属板薄板(6)外轮廓配合连接。

4.根据权利要求1所述一种多边形孔等离子体发生装置，其特征在于，所述上矩形金属板薄板(4)连接电源高压端，所述下矩形金属板薄板(6)连接电源低压端。

5.根据权利要求1所述一种多边形孔等离子体发生装置，其特征在于，所述上矩形金属板薄板(4)、下矩形金属板薄板(6)的四个角均为倒圆角结构。

6.根据权利要求1所述一种多边形孔等离子体发生装置，其特征在于，所述通孔a(2)、通孔b(5)、通孔c(7)的两端均为倒圆角结构。

7.一种多边形孔等离子体发生方法，其特征在于，使用如权利要求1-6任意一项所述的一种多边形孔等离子体发生装置，具体按照以下步骤实施：

步骤1、用高压导线分别连接上矩形金属板薄板(4)和电源的正极，上电极板导通，电源特性选择输出波形为正弦波或者纳秒脉冲的电源；

步骤2、用高压导线分别连接下矩形金属板薄板(6)和电源的接地端；

步骤3、打开电源开关，调节电源旋钮，调节电压，直至通孔a(2)、通孔b(5)、通孔c(7)处能够观察到紫色明亮的放电等离子体。