[发明专利]一种基于热电材料的太赫兹波探测器

权利要求书

1.一种基于热电材料的太赫兹波探测器，其特征在于，包括：衬底、第一石墨烯层、微纳颗粒层、第二石墨烯层、热电材料层、源极、漏极；所述衬底为绝缘材料，所述第一石墨烯层置于所述衬底上，所述微纳颗粒层置于所述第一石墨烯层上，所述第二石墨烯层置于所述微纳颗粒层上，所述热电材料层置于所述第二石墨烯层上，所述源极连接所述第一石墨烯层和所述第二石墨烯层的一侧，所述漏极连接所述第一石墨烯层和所述第二石墨烯层的另一侧。

2.如权利要求1所述的基于热电材料的太赫兹波探测器，其特征在于：所述微纳颗粒层包括微纳颗粒。

3.如权利要求2所述的基于热电材料的太赫兹波探测器，其特征在于：所述微纳颗粒不接触。

4.如权利要求3所述的基于热电材料的太赫兹波探测器，其特征在于：所述微纳颗粒的材料为贵金属。

5.如权利要求3所述的基于热电材料的太赫兹波探测器，其特征在于：所述微纳颗粒的材料为半导体。

6.如权利要求1-5任一项所述的基于热电材料的太赫兹波探测器，其特征在于：所述微纳颗粒的尺寸不同。

7.如权利要求6所述的基于热电材料的太赫兹波探测器，其特征在于：所述第一石墨烯层中石墨烯的层数少于6层。

8.如权利要求7所述的基于热电材料的太赫兹波探测器，其特征在于：所述第二石墨烯层中石墨烯的层数少于10层。

9.如权利要求8所述的基于热电材料的太赫兹波探测器，其特征在于：所述热电材料层的材料为锆钛酸铅、钽酸锂、铌酸锂、氮化镓、硝酸铯。

10.如权利要求9所述的基于热电材料的太赫兹波探测器，其特征在于：所述第一石墨烯层中设有孔洞。