[发明专利]涂布喷嘴及涂布装置

说明书

提供一种涂布喷嘴及涂布装置，涂布喷嘴具备具有缝隙状的喷出口的喷嘴主体、缝隙部及流路。缝隙部设置于喷嘴主体内，延伸至喷出口。流路在喷嘴主体内与缝隙部的上游端的至少1个部位直接连结，向缝隙部供给涂布液。涂布装置具备上述涂布喷嘴，从该涂布喷嘴喷出涂布液而在涂布对象的表面形成涂布膜。

技术领域

本发明涉及涂布喷嘴及具备该涂布喷嘴的涂布装置，尤其涉及具有缝隙状的喷出口的缝隙喷嘴及具备该缝隙喷嘴的涂布装置。

背景技术

缝隙喷嘴一般具备具有缝隙状的喷出口的喷嘴主体、在该喷嘴主体内在横向(喷出口呈缝隙状延伸的方向)上扩展的歧管部、从该歧管部延伸至喷出口的缝隙部及用于向歧管部供给涂布液的流路，该流路与歧管部的中央附近的1个部位直接连结(例如，参照日本特开2016-182576号公报)。在这样的缝隙喷嘴中，需要以使涂布液从喷出口的喷出量在横向上均匀的方式，将流入到歧管部的中央附近的涂布液在歧管部内在横向上充分扩展，并且抑制涂布液的流动的不均，为此，需要增大歧管部的容积。

本申请的发明人通过解析而发现了：在利用上述缝隙喷嘴涂布了涂布液的情况下，在歧管部内的大范围内滞留有涂布液。另外，本申请的发明人也发现了：在歧管部内，越远离流路直接连结的部位，则涂布液的滞留越显著。

近年来，存在想要使用具备上述缝隙喷嘴的涂布装置来形成浆料(固体颗粒悬浊的液体)的薄膜这一期望。但是，本申请的发明人认为，在使用了浆料作为涂布液的情况下，在歧管内的大范围内浆料滞留，以此为原因，在滞留的浆料中固体颗粒凝聚，该固体颗粒的凝聚物可能会直接喷出。这样的凝聚物会对涂布膜的平滑性、特性造成不良影响。需要说明的是，在使用了溶液(溶质溶解于溶剂的液体)作为涂布液的情况下，即使在歧管内滞留了溶液，也不会产生凝聚物，因此，歧管内的滞留不会成为问题。

于是，本发明的目的在于，提供即使在使用了浆料作为涂布液的情况下也不容易产生凝聚物的涂布喷嘴及具备该涂布喷嘴的涂布装置。

发明内容

本发明的涂布喷嘴具备具有缝隙状的喷出口的喷嘴主体、缝隙部及流路。缝隙部设置于喷嘴主体内，延伸至喷出口。流路在喷嘴主体内与缝隙部的上游端的至少1个部位直接连结，向缝隙部供给涂布液。

根据上述涂布喷嘴，通过涂布液从流路向间隙宽度窄的缝隙部直接流入，该涂布液不滞留而在缝隙部内一边横着扩展一边向下游侧流动。因此，在缝隙部内的横向上的全部部位处，涂布液容易在纵向上流动。

本发明的涂布装置具备上述涂布喷嘴，从该涂布喷嘴喷出涂布液而在涂布对象的表面形成涂布膜。

附图说明

图1是例示了涂布装置的概念图。

图2是涂布喷嘴的分解立体图。

图3是将涂布喷嘴的第一主体结构部从内表面侧观察而示出的平面图。

图4是示出了第一变形例的涂布喷嘴的一例的概念图。

图5是示出了第一变形例的涂布喷嘴的另一例的概念图。

图6是示出了第一变形例的涂布喷嘴的又一例的概念图。

图7是示出了第二变形例的涂布喷嘴的概念图。

图8是示出了第三变形例的涂布喷嘴的概念图。

图9是示出了第四变形例的涂布喷嘴的概念图。

具体实施方式

[1]涂布装置的结构

图1是例示了涂布装置的概念图。如图1所示，涂布装置具备卡盘部1、涂布液供给部2及控制部3。

卡盘部1

卡盘部1包括载台11和载台驱动部12。