[发明专利]一种用于压电复合薄膜材料的极化夹具在审
申请号: | 202010751280.5 | 申请日: | 2020-07-30 |
公开(公告)号: | CN111769071A | 公开(公告)日: | 2020-10-13 |
发明(设计)人: | 徐凡;赵官峰;卓江山;娄维尧;蔡姚杰 | 申请(专利权)人: | 浙江工业大学 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L41/257 |
代理公司: | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人: | 周红芳 |
地址: | 310014 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 压电 复合 薄膜 材料 极化 夹具 | ||
本申请公开了一种用于压电复合薄膜材料的极化夹具,主要包括极化组件、电极夹持器和夹具安装台;极化组件包括上电极极化板、下电极极化板和绝缘隔离板,绝缘隔离板上设预留开口;电极夹持器包括扭簧以及通过连接销互相铰接的上夹板本体和下夹板本体,上夹板本体前端和下夹板本体前端分别设有上夹板和下夹板,扭簧套于连接销上,且扭簧两端分别固定于上夹板和下夹板上;电极夹持器安装于夹具安装台上,上电极极化板连接于上夹板下表面,下电极极化板连接于下夹板上表面,绝缘隔离板被夹持在上电极极化板和下电极极化板之间。本发明的极化夹具适用于较小面积的压电复合薄膜材料的夹取,可以将多个电极夹持器部分安放于夹具安装台上共同工作。
技术领域
本发明涉及压电材料的极化夹具和机械制造领域,具体涉及一种用于压电复合薄膜材料的极化夹具。
背景技术
压电材料是将机械能转换为电能的重要材料,目前已经普遍存在于社会生产生活中。压电材料分为无机压电材料和有机压电材料,无机压电材料包括压电陶瓷以及压电单晶体。有机压电材料则是以聚偏氟乙烯为代表的一类有机压电薄膜。还有一类是复合压电材料,是一种将压电陶瓷和其他基体的材料按一定的方式复合构成的一种新型的压电材料。相对于无机压电材料而言,复合压电材料具有柔韧性好、密度低、易于实现大面积成型、性能可设计性好、电压压电系数高等诸多优点。相比于有机压电材料,复合压电材料不仅具有有机压电材料的柔韧性、可设计性等优点,并且比有机压电材料的压电应变常数高,从而使压电复合材料可以应用在水声,超声,医学等更丰富的领域。
伴随着压电材料发展的是压电材料的极化工艺,新制备好的压电材料并不具备压电特性,必须经过极化工艺,对压电材料进行极化。极化后,压电材料内各向异性的多畴结构会转为单畴结构,并且表现出压电特性。
在极化工艺中,夹具的设计是很关键的一环。夹具保证了压电材料和电极之间的贴合。如果夹具设计差,导致压电材料与电极之间贴合不严,很可能造成薄膜击穿,导致极化失败,整个压电材料作废,甚至会导致极化电极作废。因此,本发明提出了一种用于压电复合薄膜材料的极化夹具,该极化夹具专门用于较小面积的压电复合薄膜材料的夹取,极化夹具体积小,可以多个并联使用,极化夹具夹紧力度可以调整,互换性强,维护方便,制造方便,成本低。
发明内容
针对现有技术存在的上述技术问题,本申请的目的在于提供一种用于压电复合薄膜材料的极化夹具,该极化夹具专门用于较小面积的压电复合薄膜材料的夹取。
所述的一种用于压电复合薄膜材料的极化夹具,其特征在于:所述极化夹具主要包括三个部分,分别为极化组件、电极夹持器和夹具安装台;
极化组件包括上电极极化板、下电极极化板和绝缘隔离板;
电极夹持器包括扭簧以及通过连接销互相铰接的上夹板本体和下夹板本体,上夹板本体前端和下夹板本体前端分别设有用于施压夹持的上夹板和下夹板,扭簧套于连接销上,且扭簧两端分别固定于上夹板和下夹板上;
电极夹持器安装于夹具安装台上,上电极极化板连接于上夹板下表面,下电极极化板连接于下夹板上表面;其中绝缘隔离板上设有用于放置压电复合薄膜材料的预留开口,压电复合薄膜材料放置于绝缘隔离板的预留开口内并被夹持在上电极极化板和下电极极化板之间。
所述的一种用于压电复合薄膜材料的极化夹具,其特征在于:上电极极化板和下电极极化板分别通过引线与直流高压电源连接。上电极极化板和下电极极化板安装于电极夹持器上,同时电极夹持器在极化工作时,用于压紧极化组件,保证绝缘隔离板被夹持在上电极极化板和下电极极化板之间的同时,压电复合薄膜材料与上、下电极极化板之间均保持紧密贴合。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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