[发明专利]一种超宽通带短波通滤光膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202010751900.5 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN111766655B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 张金豹;耿浩;史成浡;田军;南勇;王明慧;张琪 | 申请（专利权）人： | 河南平原光电有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;C23C14/10;C23C14/08;C23C14/24;C23C14/32;C23C14/46 |
| 代理公司： | 北京天达知识产权代理事务所(普通合伙) 11386 | 代理人： | 程虹 |
| 地址： | 454001*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 超宽通带 短波 滤光 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种超宽通带短波通滤光膜，其特征在于，所述滤光膜有57层薄膜，其中奇数层为SiO2层，偶数层为Ta2O5层；
薄膜每层物理厚度如下表：
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