[发明专利]射频压电器件的性能调试方法、装置及相关产品

权利要求书

1.一种射频压电器件的性能调试方法，其特征在于，所述方法包括：

获取所述射频压电器件的当前性能参数的值；

判断所述当前性能参数的值是否达到所述射频压电器件合格时具备的目标性能参数的值；

若所述当前性能参数的值达不到目标性能参数的值，则获取光学设备提取的所述射频压电器件的图像；

根据所述图像，识别出在所述射频压电器件中设计的用于性能调试的调试部位；

对所述射频压电器件的性能进行分析，生成将所述当前性能参数的值调整到目标性能参数的值的最优策略；

根据所述最优策略，通过调整所述调试部位的物理属性，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值；

其中，所述射频压电器件为基于有声表面波的射频压电器件；所述根据所述最优策略，通过调整所述调试部位的物理属性，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值，包括：根据所述最优策略，通过调整所述调试部位的物理属性，调整所述有声表面波的射频压电器件中电极之间的距离以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值；或者，

所述射频压电器件为基于体波或薄膜体波的射频压电器件；所述根据所述最优策略，通过调整所述调试部位的物理属性，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值，包括：根据所述最优策略，通过调整所述调试部位的物理属性，调整所述体波或薄膜体波的射频压电器件中的电磁场以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：通过矢量网络分析仪对所述射频压电器件进行性能测试得到所述当前性能参数的值。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述最优策略，通过调整所述调试部位的物理属性，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值，包括：根据所述最优策略，对所述射频压电器件的所述调试部位进行刻蚀、切削、打磨、烧灼中至少其一处理，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述最优策略，对所述射频压电器件的所述调试部位进行刻蚀、切削、打磨、烧灼中至少其一处理，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值，包括：根据所述最优策略，生成控制机电设备的控制指令，通过所述控制指令控制所述机电设备对所述射频压电器件的所述调试部位进行切削、打磨、烧灼中至少其一处理，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述机电设备包括：离子枪、磨头、铣刀和激光器中至少一种。

6.根据权利要求1-5任一项所述的方法，其特征在于，所述射频压电器件具有腔体或者微带结构。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，若所述射频压电器件具有微带结构，则所述根据所述最优策略，通过调整所述调试部位的物理属性，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值，包括：根据所述最优策略，通过调整所述调试部位的物理属性，调整所述射频压电器件的腔体或者微带结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值。