[发明专利]一种阶梯式的清洗机用清洗槽

说明书

本发明公开了一种阶梯式的清洗机用清洗槽，包括呈阶梯型设置的第一水槽、第二水槽和第三水槽，第一水槽的下端成型有贯穿第一水槽后端面的第一排水槽，第一水槽的后端面上固定有与第一排水槽相连通的排水管道；所述第二水槽和第三水槽底端的前端面上分别成型有第二排水槽和第三排水槽，第一水槽和第二水槽上端的后端面上分别成型有与第二排水槽和第三排水槽相对的第一槽口和第二槽口，第一槽口两侧的第一水槽内壁上弯折成型有第一挡板，第二槽口两侧的第二水槽内壁上弯折成型有第二挡板；所述第一槽口和第二槽口内设有放水机构。

技术领域

本发明涉及半导体清洗机的技术领域，更具体地说涉及一种阶梯式的清洗机用清洗槽。

背景技术

硅片制作的集成电路芯片为常规的半导体产品，硅片在制作集成电路芯片之前，需要经过清洗。现有的硅片清洗先放入药液槽进行表面化学处理，再送入清洗槽内(采用纯水清洗，也称为纯水槽)，将表面粘附的药液清洗干净。一般药液处理过的硅片需要依次经过多个纯水槽，才能将附着在硅片表面的药液清洗到，清洗多次后，都将纯水槽内的水排掉，需要耗费大量的纯水。

发明内容

本发明的目的就是针对现有技术之不足，而提供了一种阶梯式的清洗机用清洗槽，其将多个清洗槽设立呈阶梯式，可以实现上层水槽内的水流入下层水槽内，实现重复清洗，节约水资源。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案如下：

一种阶梯式的清洗机用清洗槽，包括呈阶梯型设置的第一水槽、第二水槽和第三水槽，第三水槽固定在第二水槽的后端面上，第二水槽固定在第一水槽的后端面上，第一水槽的下端成型有贯穿第一水槽后端面的第一排水槽，第一水槽的后端面上固定有与第一排水槽相连通的排水管道；所述第二水槽和第三水槽底端的前端面上分别成型有第二排水槽和第三排水槽，第一水槽和第二水槽上端的后端面上分别成型有与第二排水槽和第三排水槽相对的第一槽口和第二槽口，第一槽口两侧的第一水槽内壁上弯折成型有第一挡板，第二槽口两侧的第二水槽内壁上弯折成型有第二挡板；所述第一槽口和第二槽口内设有放水机构；所述排水管道的两侧设有台阶型的支撑架，第二水槽和第三水槽均固定在支撑架的台阶面上，排水管道上插接有阀板，阀板的上端伸出排水管道成型有水平的连接板，连接板上固定有排水气缸；

所述的放水机构包括闸板，闸板插接在第一水槽的第一槽口内或第二水槽的第二槽口内；闸板的上端成型有支耳，支耳上插接固定有定位销轴，第二水槽和第三水槽的前侧设有斜置的连杆，连杆的中部插接固定有T型的支柱，支柱插接固定在第二水槽或第三水槽上，连杆的一端成型有第一导向槽，定位销轴插接在连杆的第一导向槽内，连杆的另一端伸出第二水槽或第三水槽的侧壁成型有第二导向槽，连杆的第二导向槽内有连轴，连轴插接固定在L型的驱动杆；所述支撑架的侧壁上成型有竖直的减重槽，驱动杆的下端穿过支撑架的减重槽固定连接有联动板，联动板固定在放水气缸的活塞杆上，放水气缸和排水气缸均固定在排水管道的上端面上。

优选的，所述放水机构上闸板的厚度等于第二水槽或第三水槽的壁厚；闸板分别覆盖第二水槽上的第二排水槽和第三水槽的第三排水槽。

优选的，所述放水机构上连杆背离连轴的一端低于连杆靠近连轴的一端。

优选的，所述放水机构的闸板前端面固定有配重块。

优选的，所述放水机构上的连杆由竖直部和水平部组成，连杆的竖直部上插套有若干导向套，导向套固定在第二水槽或第三水槽的侧壁上。

优选的，所述第一水槽的下端面和支撑架的下端面在同一平面内；第一水槽的下端面至第二水槽下端面的距离等于第二水槽下端面至第三水槽下端面的距离。

优选的，所述放水气缸上缸体和活塞杆的长度之和小于第一水槽的下端面至第二水槽下端面的距离。

本发明的有益效果在于：

(1)、其将多个清洗槽设立呈阶梯式，可以实现上层水槽内的水流入下层水槽内，实现重复清洗，节约水资源。