[发明专利]一种镍钼合金挤压管靶的制备方法

权利要求书

1.一种镍钼合金挤压管靶的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤一：将镍粉和钼粉进行混合，制得混合粉末；

步骤二：将步骤一中的混合粉末过150~250目筛，备用；

步骤三：将步骤二处理过的混合粉末装进内带锥度芯棒的橡胶圆形模具，端头用橡胶堵头紧固密封；

步骤四：将装粉后的模具整体吊装放进冷等静压机工作腔内，压制成型，脱模得粉质镍钼合金管，备用；

步骤五：将脱模后的粉质镍钼合金管置于氢气气氛烧结炉中，烧结致密化，得到致密的烧结镍钼合金管坯；

步骤六：将烧结镍钼合金管坯加工成图纸要求的挤压备用坯料尺寸，控制内外径和长度；

步骤七：根据成品尺寸设计挤压模具，使用备用坯料加热后挤压镍钼管材，挤压后进行去应力退火；

步骤八：将步骤七处理后的镍钼合金管坯加工成符合要求的镍钼合金管型靶材尺寸；

步骤九：对产品进行成分、尺寸、探伤检测，合格后进行包装。

2.根据权利要求1所述的一种镍钼合金挤压管靶的制备方法，其特征在于：步骤一中钼粉的Mo含量≥99.95%，粒度为3~5μm；镍粉的Ni含量≥99.5%，粒度为2.5~7.0μm。

3.根据权利要求1所述的一种镍钼合金挤压管靶的制备方法，其特征在于：步骤一中按质量份数计算：镍粉占51~90份，钼粉占10~49份。

4.根据权利要求1所述的一种镍钼合金挤压管靶的制备方法，其特征在于：步骤一中采用V型混料设备对镍粉和钼粉进行混合搅拌，混合1.5~2.5h、停机1.5~2.5h，再开机，如是3~5个循环，总混合时间为7~9h。

5.根据权利要求1所述的一种镍钼合金挤压管靶的制备方法，其特征在于：步骤三中芯棒为带有锥度的圆锥不锈钢调直棒，锥度为2~4°。

6.根据权利要求1所述的一种镍钼合金挤压管靶的制备方法，其特征在于：步骤四中冷等静压制的压制压力为150~200MPa，保压时间3~10min。

7.根据权利要求1所述的一种镍钼合金挤压管靶的制备方法，其特征在于：步骤五中的烧结温度为1200~1400℃，烧结气氛为氢气，氢气露点为-30℃以下。

8.根据权利要求1所述的一种镍钼合金挤压管靶的制备方法，其特征在于：步骤六中挤压工序备用的镍钼合金管坯要求内外径见光，头部平头后倒R20外圆角，尾部平头。

9.根据权利要求1所述的一种镍钼合金挤压管靶的制备方法，其特征在于：步骤七中挤压前加热温度1100~1300℃，去应力退火温度为700~900℃，退火时间为1~2h。