[发明专利]一种镍钼合金熔炼管靶及其制备方法在审
申请号: | 202010755429.7 | 申请日: | 2020-07-31 |
公开(公告)号: | CN112063982A | 公开(公告)日: | 2020-12-11 |
发明(设计)人: | 彭光辉;孙虎民;张雪凤;方宏;孙良;金松来 | 申请(专利权)人: | 洛阳高新四丰电子材料有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C22C19/03;C22F1/10;C21D9/08 |
代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人: | 李现艳 |
地址: | 471000 河南省洛阳市中国(*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 合金 熔炼 及其 制备 方法 | ||
1.一种镍钼合金熔炼管靶,其特征在于:该管靶包括以下质量份数的各组分:镍51~90份、钼10~49份。
2.根据权利要求1所述的一种镍钼合金熔炼管靶,其特征在于:步骤一中钼粉的Mo含量≥99.95%,粒度为3~5μm;镍粉的Ni含量≥99.5%,粒度为2.5~7.0μm。
3.根据权利要求2所述的一种镍钼合金熔炼管靶的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
步骤一:按质量份数计算,取镍粉51~90份和钼粉10~49份进行混合,制得混合粉末;
步骤二:将步骤一中的混合粉末过150~250目筛,备用;
步骤三:将步骤二处理过的混合粉末真空熔铸成铸锭。
4.根据权利要求3所述的一种镍钼合金熔炼管靶的制备方法,其特征在于:将步骤三得到的铸锭根据挤压工序进行进一步加工,具体步骤如下:
步骤四:将步骤三的铸锭加工成挤压备用坯料尺寸;
步骤五:根据成品尺寸设计挤压模具,使用备用坯料加热后挤压镍钼管材,挤压后进行去应力退火;
步骤六:将步骤五处理后的镍钼合金管坯加工成要求的镍钼合金管型靶材尺寸;
步骤七:对产品进行成分、尺寸、探伤检测,合格后进行包装。
5.根据权利要求3所述的一种镍钼合金熔炼管靶的制备方法,其特征在于:步骤一中采用V型混料设备对镍粉和钼粉进行混合搅拌,混合1.5~2.5h、停机1.5~2.5h,再开机,如是3~5个循环,总混合时间为7~9h。
6.根据权利要求3所述的一种镍钼合金熔炼管靶的制备方法,其特征在于:步骤三中熔铸温度为1400~1600℃,真空度为10-2~1Pa。
7.根据权利要求4所述的一种镍钼合金熔炼管靶的制备方法,其特征在于:步骤五中挤压前加热温度1100~1300℃,去应力退火温度为700~900℃,退火时间为1~2h。
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