[发明专利]样品固定装置

权利要求书

1.一种样品固定装置，其特征在于：样品固定装置用于和样品承载台配合使用，所述样品承载台的中间区域具有第一孔，在第一孔的周侧为所述样品承载台的第一壁体，在所述第一壁体上形成有多个真空吸孔；多个所述真空吸孔环绕形成的真空作用区域的面积大于所述第一孔中的面积；

所述样品固定装置包括一主体板，所述主体板的中间区域具有第二孔，在所述第二孔的周侧为所述主体板的第二壁体，所述第二壁体的最外侧边缘所围区域的尺寸大于所述真空作用区域的尺寸，所述第二孔的尺寸小于所述真空作用区域的尺寸；

被测试样品的尺寸小于所述第二孔的尺寸；

在所述第二壁体的正面上设置有多个环绕在所述第二孔周侧的导电块；

所述样品固定装置中固定有所述被测试样品时的结构为：所述被测试样品通过热熔胶固定在所述第二孔中，所述被测试样品的背面和所述第二壁体的背面平齐，所述被测试样品的正面上的电极衬垫通过引线和所述导电块连接；

测试时，固定有所述被测试样品的所述样品固定装置放置在所述样品承载台上，所述第二壁体的背面放置在所述第一壁体的正面，各所述真空吸孔对所述第二壁体的背面进行真空吸附实现对所述样品固定装置的固定；

所述样品固定装置还包括一个辅助安装板，所述辅助安装板的底部尺寸大于所述第二孔的背面尺寸；

所述辅助安装板用于在所述样品固定装置中固定所述被测试样品时放置所述被测试样品；

在所述样品固定装置中固定所述被测试样品的步骤包括：

将所述辅助安装板粘贴在所述第二壁体的背面且所述辅助安装板将所述第二孔的背面完全覆盖；

将所述被测试样品放置在所述辅助安装板上，所述被测试样品位于所述第二孔内部；

将所述样品固定装置放置在打线机桌面上对需要扎针的所述电极衬垫和对应的所述导电块通过引线进行键合连接；

将固体热熔胶放置在所述第二孔中；

将所述样品固定装置放置在加热台上加热，待所述热熔胶熔化并填充满所述第二孔后将所述样品固定装置取下；

在所述样品固定装置冷却到室温时将所述辅助安装板去除。

2.如权利要求1所述的样品固定装置，其特征在于：所述样品承载台为样品失效定位设备的组成部分。

3.如权利要求2所述的样品固定装置，其特征在于：所述样品失效定位设备为光子辐射显微镜或光致阻抗变化显微镜。

4.如权利要求3所述的样品固定装置，其特征在于：所述样品失效定位设备中包括固体浸没镜头。

5.如权利要求4所述的样品固定装置，其特征在于：测试时，所述固体浸没镜头接触所述被测试样品的背面并会给所述被测试样品施加一个向上的推力，以消除所述固体浸没镜头和所述被测试样品之间的空隙。

6.如权利要求3所述的样品固定装置，其特征在于：所述样品失效定位设备中还包括探针座，探针设置在所述探针座上；

测试时，所述探针扎在所述导电块上并通过所述探针施加电信号。

7.如权利要求1或3所述的样品固定装置，其特征在于：所述第二壁体的材料采用透明材质。

8.如权利要求7所述的样品固定装置，其特征在于：组成所述第二壁体的所述透明材质包括玻璃。

9.如权利要求1或3所述的样品固定装置，其特征在于：所述第二孔的俯视面形状为方形。

10.如权利要求9所述的样品固定装置，其特征在于：从所述第二壁体的背面到正面的方向上，所述第二孔由第一子孔和第二子孔叠加而成，所述第一子孔位于所述第二子孔的底部；在俯视面上，所述第二子孔和所述第一子孔都为方形，所述第二子孔的尺寸小于所述第一子孔的尺寸且所述第二子孔位于所述第一子孔的中间区域。

11.如权利要求10所述的样品固定装置，其特征在于：所述第二子孔的中心位置和所述第一子孔的中心位置相同。